Регуляторы массового расхода для газов
Регулятор представляет собой устройство, используемое для контроля массового расхода различных газов с высокой точностью. Контроллер массового расхода широко используется в следующих областях: для полупроводников, ЖК-дисплеев, производства электрических устройств. Он способен контролировать высокую точность, потому что поток газа и жидкости контролируется массой, и это не зависит от температуры и давления.
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 1 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 1 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 1 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 2 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 1 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально закрытый
- Время отклика: 1 с; 20%<S.P ≦ 100% 1 с; 2%<S.P ≦ 20% 3 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально закрытый
- Время отклика: 1 с; 3 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод
- Диапазон расхода (жидкости) : 12 ～40,000 мг
- Режим работы клапана: нормально закрытый
- Время отклика: 10 с
- Давление выдерживания: 400 кПа
- Привод регулирующего клапана: Термоклапан
- Аналоговый выходной сигнал скорости потока: 0～ 5 Впст
- Рабочее дифференциальное давление : 10-400 кПа
- Рабочая температура : 5 ～ 50℃ 0 ～ 80% относительная влажность
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Аналоговый выходной сигнал скорости потока : 0～ 5 Впст
- Рабочее дифференциальное давление: 10-400 кПа
- Рабочая температура: 80 ～ 100℃ 0 ～ 80% относительная влажность; 100 ～ 120℃ 0 ～ 80% относительная влажность
- Давление выдерживания: 400 кПа
Регулятор массового расхода состоит из датчика, клапана и электронной платы. Небольшая часть подаваемого газа проходит отдельно через байпасный канал и датчик, встроенный в контроллер. Управление обратной связью контроллера осуществляется путем сравнения выходного сигнала массового расхода, обнаруженного датчиком, и сигнала установки расхода, который в конечном итоге управляет открытием и закрытием клапана.