Регулятор массового расхода переменного диапазона

Регулятор массового расхода переменного диапазона (VR) Серия MC-700

  • Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Описание

Регулятор массового расхода оснащен тремя переменными поворотными переключателями для выбора типа газа и регулировки расхода

Поворотный переключатель

Особенности

  • Поворотные переключатели и модули с функцией VR обеспечивают поддержку управления устройством от одного до нескольких, исключая необходимость в запасных частях.
  • Широко используемый интерфейс RS-485 (сети с последовательным подключением поддерживают до 32 соединений регуляторов массового расхода)
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
  • Высокоскоростной и высокоэффективный пьезоэлектрический привод
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Таблица соответствия VR
Модель Применяемый тип газа Расход в азоте Величина VR (переменная) Стандартный расход
MC-710 02 Все типы газов, кроме сжиженного газа 10 ～ 30 см3/мин 0.50 ～ 1.50 15 см3/мин
03 25 ～ 100 см3/мин 0.50 ～ 2.00 50 см3/мин
04 75 ～ 300 см3/мин 0.50 ～ 2.00 150 см3/мин
05 0.25 ～ 1 л/мин 0.50 ～ 2.00 500 см3/мин
06 0.75 ～ 3 л/мин 0.50 ～ 2.00 1.5 л/мин
MC-720 07 2.5 ～ 10 л/мин 0.50 ～ 2.00 5 л/мин
MC-730 08 10 ～ 30 л/мин 0.50 ～ 1.50 15 л/мин
09 30 ～ 50 л/мин 0.60 ～ 1.00 30 л/мин

Модель MC-710 MC- 720 MC- 730
Расход в азоте (полный диапазон) 10 ～ 3,000 см3/мин ～ 10 л/мин ～ 50 л/мин
Диапазон регулирования расхода 2 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально открытый, нормально закрытый
Точность   ±1.0%
Воспроизводимость ±0.2% F.S.
Время отклика 1 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0.1～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0.05～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300кПa 100 ～ 300кПa 150 ～ 300кПa
Давление выдерживания 1МПа(G)
Рабочая температура 15 ～ 35℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, ПТФХЭ, ПТФЭ
Материал уплотнения SUS316L
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс RJ45/RS-485
Привод регулирующего клапана Пьезоэлектрический привод
Вес 1.0 кг
В каталог