Высокотемпературный регулятор массового расхода Серия MC-3000L-TC
- Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
- Режим работы клапана: нормально закрытый
- Время отклика: 1 с; 3 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Описание
Регулятор массового расхода с максимальной рабочей температурой до 120 °С
Особенности
- Максимальная рабочая температура 120 ℃
- Цифровой интерфейс RS-485
- Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
- Высокофункциональный при установке микропроцессора
- Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
- Высокоскоростной и высокопроизводительный электромагнитный привод
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
- Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля
Области применения газовых расходомеров
1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Напыление пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Ионная имплантация
2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Физическое осаждение из паровой фазы
- Побочные продукты
3. Автомобилестроение:
- Оценка выхлопных газов
- Производство топливных элементов
Технические характеристики
| Модель | MC-3102L-TC | MC-3202L-TC | |
| Расход в азоте (полный диапазон) | 10 ～ 5,000 см3/мин | ～ 25 л/мин | |
| Диапазон регулирования расхода | 2 ～ 100% | ||
| Режим работы клапана | Нормально закрытый | ||
| Точность | ±1.0% | ||
| Воспроизводимость | ±0.2% F.S. | ||
| Время отклика | 1 с | 3 с | |
| Аналоговый сигнал настройки скорости потока | 0～ 5 Впст | ||
| Аналоговый выходной сигнал скорости потока | 0～ 5 Впст | ||
| Рабочее дифференциальное давление | 50 ～ 300кПa | 150 ～ 300кПа | |
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | ||
| Рабочая температура | 80 ～ 100℃ 0 ～ 80% относительная влажность 100 ～ 120℃ 0 ～ 80% относительная влажность |
||
| Температура спекания | 150 °С | ||
| Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | ||
| Материалы, подверженные воздействию газа | SUS316L, ПТФХЭ | ||
| Материал уплотнения | Au | ||
| Требования к питанию | +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 200 мА | ||
| Положение монтажа | Любое | ||
| Аналоговый разъем | Dsub 9 контактов | ||
| Цифровой интерфейс | Модульный разъем RJ45/RS-485 | ||
| Привод регулирующего клапана | Соленоидный привод | ||
| Вес | 1.2 кг | ||