Регулятор паров

Регулятор паров Серия LVC-414

  • Диапазон расхода (жидкости) : 12 ～40,000 мг
  • Режим работы клапана: нормально закрытый
  • Время отклика:  10 с
  • Давление выдерживания: 400 кПа
  • Привод регулирующего клапана: Термоклапан

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Описание

Автоматическая регулировка концентрации барботажного газа путем контроля как скорости потока, так и концентрации газа-носителя и барботажного газа

Автоматическая регулировка концентрации

Особенности

  • Устранение проблемы нестабильности во время барботажа с помощью автоматического контроля концентрации, несмотря на такие факторы, как температура, давление и уровень поверхности жидкости
  • Возможность использовать различные жидкости, такие как SiCl4, POCl3 и BBr3

Области применения газовых расходомеров:

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель LVC-414
Расход газа-носителя 10 ～ 10,000 см3/мин
Диапазон расхода (жидкости) 12 ～40,000 мг
Управляемый диапазон расхода 5 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально открытый
Точность   ±4.0%
Линейность ±4.0%
Воспроизводимость ±0.5%
Время отклика 10 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0.5～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока Жидкость 0～ 5 Впст
Газ-носитель 0.25～ 5 Впст
Соотношение 1～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 60 ～ 300 кПa
Давление выдерживания 400 кПа
Рабочая температура 5 ～ 35℃
Герметичность 2×10-8 атм・см3 / с He
Смачиваемые материалы SUS316L
Материал уплотнения Витон
Требования к питанию +15Впст, 15 Вт Макс.
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Elco 8016 20контактов
Привод регулирующего клапана Термоклапан
Вес 3 кг
В каталог