Аналоговый регулятор

Аналоговый регулятор массового расхода Серия MC-10

  • Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
  • Режим работы клапана: нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с; 20%<S.P ≦ 100% 1 с; 2%<S.P ≦ 20% 3 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Описание

Аналоговый регулятор массового расхода оснащен тремя переменными поворотными переключателями для выбора типа газа и регулировки расхода

Особенности

  • Эластомерное уплотнение
  • Встроенный соленоидный привод быстрого действия
  • Доступен от 10 см3/мин до 150 л/мин
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля
  • Опциональное дополнение: цифровой интерфейс RS-485 и функция VR

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Таблица соответствия VR
Модель Применяемый тип газа Расход в азоте Величина VR (переменная)
MC-10 01 Все типы газов, кроме сжиженного газа 10 ～ 20 см3/мин 0.50 ～ 1.00
02 20 ～ 50 см3/мин 0.60 ～ 1.50
03 40 ～ 100 см3/мин 0.50 ～ 1.25
04 80 ～ 200 см3/мин 0.50 ～1.25
05 200 ～ 500 см3/мин 0.60 ～1.50
06 400 ～ 1000 см3/мин 0.50 ～1.25
07 800 ～ 2000 см3/мин 0.50 ～1.25
08 2 ～ 5 л/мин 0.60 ～ 1.50
MC-11 09 4 ～ 10 л/мин 0.50 ～ 1.25
10 8 ～ 20 л/мин 0.50 ～1.25
11 20 ～ 50 л/мин 0.60 ～1.50
MC-12 12 100 ～ 150 л/мин 0.50 ～ 0.75

Модель MC-10RC MC-11RC MC-12RC
Расход в азоте (полный диапазон) 10 ～ 5,000 см3/мин ～ 50 л/мин ～ 10 л/мин
Диапазон регулирования расхода 2 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально закрытый
Точность   ±1.0%
Воспроизводимость ±0.2% F.S.
Время отклика 1 с 20%<S.P ≦ 100% 1 с
2%<S.P ≦ 20% 3 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0.1～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300кПa 100 ～ 300кПа ( ～ 30 л/мн)
200 ～ 300кПа ( ～ 50 л/мин)		 300 ～ 500кПa
Давление выдерживания 1МПа(G)
Рабочая температура 15 ～ 35℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-8Па・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, магнитная нержавеющая сталь, ПТФЭ SUS316L,
SUS304, ПТФЭ
Материал уплотнения Витон
Требования к питанию +15Впст 100мА, -15 Впст  150 мА +15Впст 100мА, -15 Впст  200 мА +15Впст 150мА, -15 Впст  200 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Привод регулирующего клапана Соленоидный привод
Вес 1.2 кг 1.7 кг
В каталог