Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности Серия MC-3000L
- Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
- Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
- Время отклика: 1 с
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Особенности
Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности с высокой точностью ±1.0 %
- Высокая точность ± 1,0%
- Цифровой интерфейс RS-485
- Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
- Высокофункциональный при установке микропроцессора
- Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
- Высокоскоростной и высокопроизводительный пьезоэлектрический привод
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
- Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.
Области применения газовых расходомеров
1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Напыление пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Ионная имплантация
2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Физическое осаждение из паровой фазы
- Побочные продукты
3. Автомобилестроение:
- Оценка выхлопных газов
- Производство топливных элементов
Технические характеристики
Модель | MC-3102L | MC-3202L | MC-3252L | MC-3452L | MC-3462L | MC-3472L | MC-3582L | |||||||
Расход в азоте (полный диапазон) | 5 ~ 5,000 см3/мин | ~ 20 л/мин | ~ 50 л/мин | ~ 50 л/мин | ~ 150 л/мин | ~ 200 л/мин | ~ 300 л/мин | ~ 400 л/мин | ||||||
Диапазон регулирования расхода | 2 ~ 100% | |||||||||||||
Режим работы клапана | Нормально открытый, нормально закрытый | Нормально закрытый | ||||||||||||
Точность | 100% ~ 25% ±1.0% 25%~ 2% ±0.25% (полная шкала) |
100%~ 35% ±1.0% 35%~ 2% ±0.35% (полная шкала) |
±1.0% (полная шкала). | ±2.0% (полная шкала) | ±3.0% (полная шкала) | |||||||||
Воспроизводимость | ±0.2% F.S. | ±0.5% F.S. | ±1.0% F.S. | |||||||||||
Время отклика | 1 с | 2 с | ||||||||||||
Аналоговый сигнал настройки скорости потока | 0~ 5 Впст | |||||||||||||
Аналоговый выходной сигнал скорости потока | 0~ 5 Впст | |||||||||||||
Рабочее дифференциальное давление | 50 ~ 300кПа | Нормально открытый клапан 50 ~ 300 кПа (~ 10 л/мин) 100 ~ 300 кПа (~ 20 л/мин) Нормально закрытый клапан 100 ~ 300 кПа (~ 10 л/мин) 200 ~ 300 кПа (~ 20 л/мин) |
100 ~ 300 кПа (~ 30л/мин) 150 ~ 300 кПа (~ 50 л/мин) |
150 ~ 500 кПа | 250 ~ 500 кПа | 350 ~ 500 кПа | 320 ~ 500 кПа | 50 ~ 500 кПа | ||||||
Давление выдерживания | 1МПа(G) | |||||||||||||
Температурный коэффициент | Ноль | ±0.02% / ℃ | ±0.1% / ℃ | |||||||||||
Шаг | ±0.02% / ℃ | ±0.04% / ℃ | ±0.08% / ℃ | ±0.1% / ℃ | ||||||||||
Рабочая температура | 5 ~ 50℃ 0 ~ 80% относительная влажность | |||||||||||||
Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | 1×10-8Пa・м3 / с He | ||||||||||||
Материалы, подверженные воздействию газа | SUS316L, ПТФХЭ, ПТФЭ | SUS316L, SUS304, Тефлон® | ||||||||||||
Материал уплотнения | Au | |||||||||||||
Требования к питанию | +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА | |||||||||||||
Положение монтажа | Любое | |||||||||||||
Аналоговый разъем | Dsub 9 контактов | |||||||||||||
Цифровой интерфейс | RJ45/RS-485 | |||||||||||||
Привод регулирующего клапана | Пьезоэлектрический привод | |||||||||||||
Вес | 1.0 кг | 1.4 кг | 2.4 кг |