Регулятор массового расхода

Регулятор массового расхода Серия MC-5000C: EtherCAT®

  • Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Особенности

  • Цифровой интерфейс EtherCAT® работает в соответствии с SEMI E54.20-1108
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
  • Высокоскоростной и высокоэффективный пьезоэлектрический привод
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных шумов и помех электромагнитного поля

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель MC-5100C MC-5200C MC-5250C MC-5450C MC-5460C MC-5470C MC-5580C
Расход в азоте (полный диапазон) 10 ～ 5,000 см3/мин 5.1 ～ 10 л/мин 11 ～ 50 л/мин 50 л/мин 100, 150 л/мин 200 л/мин 300 л/мин
Диапазон регулирования расхода 2 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально открытый, нормально закрытый Нормально закрытый
Точность 100% ～ 25%  ±1.0%
25%～ 2% ±0.25% (полная шкала)		 100%～ 35%  ±1.0%   
35%～ 2%  ±0.35% (полная шкала)		 ±1.0% (полная шкала). ±2.0% (полная шкала)
Воспроизводимость ±0.2% F.S. ±0.5% F.S.
Время отклика 1 с
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300кПа 100 ～ 300 кПа   150 ～ 300 кПа 150 ～ 500 кПа 250 ～ 500 кПа 350 ～ 500 кПа
Давление выдерживания 1МПа(G)
Температурный коэффициент Ноль ±0.02% / ℃ ±0.1% / ℃
Шаг ±0.02% / ℃ ±0.04% / ℃ ±0.08% / ℃ ±0.1% / ℃
Рабочая температура 15 ～ 35℃　0 ～ 80% относительная влажность 10 ～ 40℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He 1×10-8Пa・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, ПТФХЭ, ПТФЭ SUS316L, SUS304, Тефлон®
Материал уплотнения Au Au, Витон®
Требования к питанию 24Впст (350мА) ±3% 24Впст (350мA) ±10%
Положение монтажа Любое
Цифровой интерфейс EtherCAT®
Привод регулирующего клапана Пьезоэлектрический привод
Вес 1.0 кг 1.4 кг 2.4 кг
В каталог