Метод сверхбыстрого измерения ориентации кристаллических образцов Omega-scan
Измеряемый образец поворачивается на 360° вокруг определенной оси, обычно нормали к его поверхности. Источник рентгеновского излучения и система регистрации должны быть подстроены в зависимости от типа кристалла, чтобы получить достаточное количество отражений за один оборот. Угловые положения данных отражений используются для вычисления ориентации кристаллической решетки (полностью описывается тремя углами) по отношению к оси вращения самого кристалла.Чтобы точно связать ориентацию решетки с поверхностью кристалла, направление поверхности проверяется с помощью лазерного луча. Аналогичным образом с помощью оптических инструментов также могут быть измерены другие кристаллические эталонные поверхности или направления. Данная методика измерения позволяет с высокой точностью определять ориентацию произвольных монокристаллов в любом диапазоне направлений. Обычно времени измерения в несколько секунд (время одного или нескольких оборотов образца) достаточно, чтобы получить воспроизводимость в диапазоне нескольких арксекунд. Одним из специальных применений «Omega-scan» метода является точное определение параметров решетки, особенно кубических кристаллов.
Рис. 1. Схема измерения кристалла с помощью «Omega-scan» метода.
Рис. 2. Определение ориентации кристалла по рефлекторной позиции углового положения отраженного луча.
Преимущества метода
- Стабильность и простота расположения рабочих элементов: рентгеновская трубка и детектор находятся в фиксированных положениях; один измерительный цикл; отсутствие монохроматора
- Все данные, необходимые для полного определения ориентации, измеряются за одно вращение
- Высокая точность при малом времени измерения
Следствие: метод анализа является идеальным для серийных измерений и промышленных применений.
Рентгеновские дифрактометры, использующие Omega-scan метод
- Дифрактометрия одного кристалла
- Угловое разрешение 0.1 арксекунда
- Размер образца до 450 мм
- Полностью автоматизированное измерение
- Полная ориентации решетки единичных кристаллов
- Высокая точность анализа (до 0.01°)
- Контроль резания, шлифования и притирки
- Применим для подложек от 50 мм до 300 мм и слитков весом до 20 кг
- Воздушное охлаждение рентгеновской трубки (вода не требуется)
- Сверхбыстрое измерение ориентации кристаллов
- Высокая точность анализа (до 0.01°)
- Измерение мелких образцов размерами от 1 мм
- Полное ручное управление
- Воздушное охлаждение рентгеновской трубки (вода не требуется)
- Определение типов ориентации: AT, SC, IT, TF, X, Y, Z.
- Скорость измерения 2 сек
- Высокая точность ориентации: СКО ≤ 10 арксекунд
- Высокое пространственное разрешение: 1 ± 0.1 мм
- Определение ориентационного наклона относительно образца
- Автоматическое отображение угловых компонентов