Эллипсометры — приборы для анализа тонких пленок
Спектральная эллипсометрия является единственной уникальной технологией, позволяющей измерять толщину и показатель преломления (RI) независимо и одновременно без ссылки на однослойную пленку.
- Для исследования характеристик всех типов материалов: диэлектриков, полупроводников, органики и многих других
- Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ
- Производительность 10~15 с на точку(зависит от типа пленки)
- Для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок
- Измеряет толщину пленки, n, k через λ, отражательную способность
- Производительность: 0.5 с на точку
- Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
- Анализ сильных, слабых и нулевых фазовых пленок
- Определяет оптические оси, параметры Rin и Rth, оси затухания поляризационных пленок
- Производительность: < 25 с на точку
- Микроскопические насадки для измерения мелкодисперсионных образцов
- Простота и высокая скорость измерений
- Высокая воспроизводимость анализа
- Простота и высокая скорость измерений
- Высокая воспроизводимость анализа
- Бесконтактный неразрушающий метод анализа
- Возможность измерения многослойных материалов
- Простота и высокая скорость измерений
- Высокая воспроизводимость анализа
- Бесконтактный неразрушающий метод анализа
- Возможность измерения многослойных материалов
- Чрезвычайно точное измерение сверхмалой оптической анизотропии
- Отсутствие остаточной анизотропии подложки
- Проведение измерения одним нажатием (автоматические наклон, регулировка, картирование)
- Компактный дизайн
- Простота управления и надежность работы
- Быстрые и точные измерения
- Анализ образцов размеров до 500 × 2500 мм
- Простота управления и надежность работы
- Быстрые и точные измерения
Спектральные эллипсометры Ellipso Technology используются для анализа тонких пленок: измерения толщины и оптических показателей многослойных и однослойных структур. Данные приборы предназначены для определения характеристик таких типов материалов, как диэлектрики, полупроводники, органики, а также типов пленок: OLED пленки, антибликовые покрытия, солнечные ячейки и пленки с низкими и высокими значениями оптических констант и т.д.
Принцип работы эллипсометров заключается в высокочувствительном и точном поляризационно-оптическом исследовании поверхностей и границ раздела различных сред (твердых, жидких, газообразных), который основан на изучении изменения состояния поляризации света после взаимодействия его с поверхностью границ раздела этих сред.
Рефлектометрические системы предназначены для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок с небольшим количеством покрытий в различных технологических процессах.