Спектральный микроэллипсометр μ-Spot Elli-SE

Микроскопическая система для измерения тонких пленок

Спектральная эллипсометрия (SE) является отраслевым стандартом, который позволяет одновременно измерять толщину и оптические константы тонких пленок одновременно, а также используется для определения характеристик различных материалов (например, диэлектриков, полупроводников, органических веществ и т.д.), включая просветляющие покрытия, OLED дисплеи и полимерные пленки.

• Микроскопические насадки для измерения мелкодисперсионных образцов
• Простота и высокая скорость измерений
• Высокая воспроизводимость анализа
• Бесконтактный неразрушающий метод анализа
• Возможность измерения многослойных материалов
• Опции 2D- и 3D-картирования поверхности

• Определение толщины тонких пленок диэлектриков, полупроводников, полимеров
• Измерение коэффициента затухания
• Анализ сверхтонких и сверхтолстых пленок
• Измерение толщины подложек: Si, GaAs, Al, стекло, Al₂O₃, PC, PET и др.
• Измеряемые материалы

Полупроводники: Si, Ge, ONO, ZnO, PR, поликристаллический-Si, GaN, GaAs, Si₃N₄

Дисплеи: ITO, PR, MgO, Alq₃ , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO₂, ONO

Диэлектрики: SiO₂ , TiO₂ , Ta₂O₅ , ITO, AIN, ZrO₂, Si₃N₄, Ga₂O₃, влажное окисление

Полимеры: красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR

Химия: органические пленки (OLED), тонкие пленки Ленгмюра-Блоджетт

Солнечные элементы: SiN, a-Si, поликристаллический Si, SiO₂, Al₂O₃

1. Система автоматического картирования (Ø150мм, Ø200мм, Ø300мм)
2. Опции расширения рабочего диапазона: UV1: 220 – 1000 нм; UV2: 193 – 1000 нм; IR: 850 – 1700 нм
3. Система автоматического выравнивания поверхности измеряемого образца

Компания Ellipso Technology предлагает аналитические услуги для анализа Ваших образцов

Компания Ellipso Technology предоставляет своим клиентам решение, включающее такие данные, как толщина, показатель преломления, коэффициент затухания и плотность тонкопленочных материалов, а также, другие возможные свойства, которые могут быть исследованы оптическим методом. Точность технологии и точность анализа Ellipso Technology пользуются доверием множества компаний и исследовательских институтов, а также учебных заведений.

Основываясь на знаниях и опыте, накопленных в ходе более чем 2000 запросов, полученных из различных областей за более чем десять лет, Ellipso Technology также предоставляет услуги по консультации клиентов, которые ищут решения вопросов, возникающих в процессе создания тонких пленок.

Небольшой список наших основных клиентов (локальных и зарубежных)

Стоимость услуги по измерению зависит от градации тестовых образцов для анализа:

• Единичный образец (подложка, пластина, стекло, т.п.)
• Несколько одинаковых образцов (например, 50 нм, 100 нм)
• Неизвестный образец с многослойной структурой
• PET пленки и новые материалы

В связи с тем, что для обработки запроса на точные измерения различных материалов должны работать самые опытные инженеры, номинальное количество образцов, которые мы можем обработать, составляет 5 образцов за один рабочий день. В некоторых случаях для измерения образца требуется всего 2-3 часа, так как на поверхности образцов после различных условий технологического процесса изготовления получаются самые разнообразные результаты.

Мы надеемся, что Вы понимаете данную ситуацию, а компания Ellipso Technology сделает все возможное, чтобы предоставить более точные и быстрые услуги в самый короткий срок.