Системы нанесения покрытий методом центрифугирования серии spinNXG

• Изучение исходного и нанесенного материалов.
• Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах (Анализ тонкой пленки оксида кобальта Co₃O₄, полученной методом центрифугирования).
• Нанесение тонких органических и магнитных пленок, а так же оптических покрытий.
• Нанесение пленок на границе раздела жидкой и твердой фаз.
• Нанесение фоторезистивного покрытия.
• Нанесение покрытия золь-гель методом

Технологически процесс нанесения покрытия проводится в 4 основных этапа:

• Нанесение покрывающей жидкости на подложку при помощи шприца или сопла;
• Постепенное увеличение скорости вращения подложки до необходимого значения;
• Подложка вращается с постоянной скоростью и благодаря силе внутреннего трения слой жидкости утончается;
• На четвертом этапе подложка вращается с постоянной скоростью и происходит выпаривание растворителя.

Внутри прибора имеется камера с вращающимся валом, на который крепится держатель. Держатель представляет собой круг из материала Delrin с уплотнением и центральным отверстием для крепления подложки при помощи вакуумирования. Помимо этого метода, закрепить образец можно при помощи двустороннего скотча или клейкой лентой. В основной комплектации прибора один вид держателя. Опционально доступны другие виды держателя под различные размеры подложки.

Для вакуумирования подложки, в качестве опции прибор может быть укомплектован безмасляным вакуумным насосом.

Помимо этого для поддержания необходимой температуры внутри камеры прибор оснащается дополнительным нагревательным элементом, который крепится на крышку.

Ввод раствора для нанесения тонкой пленки может быть произведен шприцом, как до процесса центрифугирования, так и во время его проведения (кроме модели P1).

Закрепив подложку внутри камеры одним из предложенных методов, проводится калибровка вращательного механизма. Она занимает не более 2-3 минут и запускается на дисплее. После успешного прохождения калибровки проводится настройка режима испытания, скорости вращения, количества повторений и других параметров. Убедившись, что все параметры заданы корректно, запускается процесс центрифугирования.

Для того, чтобы произвести сушку, отверждение или исследование полученного покрытия УФ-методом, компанией Apex дополнительно предлагаются ультрафиолетовые осушители UltraV-C1 N.

Некоторые модели серии P1 оснащаются программным обеспечением, которое позволяет регулировать и контролировать работу прибора на компьютере. Обязательным элементом работы программы является построение графика зависимости скорости вращения от времени. Такой график наглядно демонстрирует точность соблюдения заданного режима. В моделях серии P2 график автоматически строится на ЖК-дисплее, встроенном в корпус прибора.

Для осушения покрытий, полученных методом центрифугирования, можно использовать УФ отвердители.