Скрайбирование
Резка и скрайбирование кремния, стекла и сапфира
Использование лазерных технологий для производства фотонных компонентов является очень важным достижением. Одним из направлений в данной области является резка диодов, испускающих свет, выращенных на сапфировой подложке, на кристаллы. Однако сапфир, благодаря его высокой твердости и химической устойчивости, тяжело обрабатывать механически. Поэтому лазерная микрообработка – это потенциальной метод для резки сапфира.
Компания ELAS запатентовала технологию резки прозрачных материалов, основанную на использовании лазерного излучения с ультракороткой длительностью импульса на двух длинах волн и их пространственной и временной подстройке. Оптимизация параметров для микрообработки (энергия импульса, плотность энергии импульса, частота следования импульсов, условия фокусировки и т.д.) позволила получить высокое качество скрайбирования и увеличить скорость обработки.
Компания также предлагает решения с нано-, пико- и фемтосекундными лазерами для микрообработки прозрачных материалов. Разработанная технология резки стекла позволяет добиться высокой скорости и качества резки по прямой или изогнутой линии.
Оборудование для лазерной резки сапфиров, стекла и кремниевых пластин:
- Тип лазера: пс / фс
- Средняя мощность: 6 Вт / 4 Вт
- Длительность импульса: < 13 пс
- Диапазон перемещений столика: XYZ: 600 × 400 × 200 мм + XY: 150 × 150 мм + вращение*
- Тип лазера: DPSS, пс / фс
- Длина волны лазера: 1064 / 1030 нм
- Средняя мощность: 6 / 4 Вт
- Длительность импульса: < 10 пс / < 290 фс
- Диапазон перемещений столика: (XY) 300×300 мм
Компоненты для построения систем для лазерной микрообработки:
- Решения для микрообработки
- Выходная мощность до 30 Вт на 355 нм
- Выходная мощность до 40 Вт на 532 нм
- Выходная мощность до 80 Вт на 1064 нм
- Длительность импульса 10 ± 3 пс
- Низкая стоимость содержания
- Выходная мощность до 16 Вт
- Частота следования импульсов 88 МГц
- Длительность импульса менее 8 пс
- Доступно излучение на длинах волн 1064 нм, 532 нм и 355 нм
- Не требуется подключение внешней системы водяного охлаждения
- Решения для микрообработки
- Энергия импульса до 30 мкДж
- Частота следования импульсов до 1 МГц
- Выходная мощность до 5 Вт
- Воздушное охлаждение
- Режим пакета импульсов
- Низкая стоимость содержания