Южная Кореяhttps://www.parksystems.com/
Park Systems
Компания Park Systems с самого начала своего существования стремится каждый день жить в соответствии с новаторским духом. На протяжении всего этого времени компания поставляет наиболее точные и очень простые в использовании АСМ микроскопы с революционными характеристиками, такими как Реальный Безконтактный Режим (True Non-Contact™), и максимально автоматизированным программным обеспечением. Park Systems не останавливается на достигнутом успехе, и все её продукты разработаны с такой же пунктуальностью и креативностью как и первые.
После четверти века непрерывного роста и инновационной продукции компания обладает самой длинной историей АСМ бизнеса в отрасли. Park Systems имеет сеть дистрибьюторов по всему миру в более чем 30 странах мира и имеет более чем 1000 АСМ микроскопов в использовании по всему миру. Компания является самой быстрорастущей в отрасли и имеет более 120 штатных сотрудников, которые посвящают себя производству наиболее точных и простых в использовании АСМ микроскопов.
Видео о компании
История компании
Самая длинная история технологий.
Более чем четверть века назад компания «Park Systems» была основана в Стэндфордском университете, в котором ее основатель доктор Sang-Il Park работал в группе первых исследователей технологий АСМ. После усовершенствования микроскопа он участвовал в создании первого коммерческого АСМ и затем основал компанию «Park Systems».
Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех).
Реальный безконтактный режим (Non-Contact Mode™) для неразрушающего сканирования поверхности образца.
- Анализ дефектов полупроводников
- Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Z-детектор с низким уровнем шума
- Автоматизированный интерфейс
- Самый оснащенный и универсальный АСМ
- Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
- Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
- Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
- Функция устранения перекрестных помех
- Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
- Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
- Автоматическое считывание кантилеверов
- Автоматическая смена кантилеверов
- Автоматическая настройка лазера
- Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Множественный зажим
- Моторизированный предметный столик XY
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Удобный держатель образца
- Предметный столик XY с ручным управлением
- Анализ отказов, обнаружение дефектов
- Сканирование в условиях высокого вакуума
- Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
- Высокая чувствительность и разрешение измерений