Нажимая кнопку «Подписаться», вы принимаете условия «Соглашения на обработку персональных данных».
Вебинар «Наномасштабные исследования полевых транзисторов для электронных устройств (режим PinPoint SSRM)»
18 Марта 2021 г. 13:00 – 14:00 (Москва)
С уменьшением размеров электронных устройств до уровня наномасштабов, получение точных характеристик об их структурных и электронных свойствах с высоким разрешением становится все более важной задачей. Атомно-силовая микроскопия (АСМ) позволяет получать высококачественные изображения с нанометровым разрешением и не только измеряет топографические особенности, но может одновременно обнаруживать наномеханические и электрические свойства.
В центре внимания этого вебинара будет находится сканирующая микроскопия сопротивления растеканию (SSRM), хорошо зарекомендовавший себя метод измерения профилей распределения легирующих примесей. Ключевым преимуществом SSRM является высокое пространственное разрешение и электронная чувствительность, достигаемая за счет приложения высоких сил нагрузки, которые обеспечивают проводимость системы «зонд-образец» почти сравнимую с металлами. Однако обратной стороной высоких сил нагрузки является то, что мягкие материалы могут подвергаться эффектам размытия во время сканирования, что изменяет фактические характеристики образца.
Сочетание SSRM с режимом PinPointTM от Park Systems позволяет преодолеть эти проблемы. Сканирование в режиме PinPoint предотвращает латеральное перемещение кантилевера по поверхности образца и, таким образом, предотвращает деформацию мягких материалов. Кроме того, четко контролируемый процесс контакта зонда с образцом снижает топографические перекрестные помехи.
В ходе данного вебинара мы продемонстрируем данный тип измерений на атомно-силовом микроскопе NX10 компании Park Systems на примере полевого транзистора.
Вебинар будет представлен Dr. Florian Stumpf – менеджером по применениям Park Systems Europe, Мангейм, Германия.