Жидкостный испаритель с пьезоэлектрическим приводом Серия VU-206
- Диапазон регулирования расхода: 10 ～ 100 % (полная шкала)
- Рабочий режим клапана: нормально открытый
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Рабочее дифференциальное давление: 50 ～ 300 кПа
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Описание
Серия VU-206: жидкостный испаритель с пьезоэлектрическим приводом
Эффективный контроль испарения жидкости при использовании с серией LM-3000L
Особенности
- Испарение точно контролируемой жидкости с помощью пьезоэлектрического привода
- Максимальная рабочая температура до 160 ℃
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
- Компактный размер
Технические характеристики
| Модель | VU-0206N | |
| Максимальная скорость испарения | TEOS | 7 г/мин |
| Н2О | 0.5 г/мин | |
| Диапазон регулирования расхода | 10 ～ 100 % (полная шкала) | |
| Расход газа-носителя | 0.1 – 14 л/мин | |
| Рабочее дифференциальное давление | 50 ～ 300 кПа | |
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | |
| Рабочий режим клапана | Нормально открытый | |
| Макс. потребление энергии | 120 В | 70 Вт |
| 240 В | 70 Вт | |
| Термопара | К типа, 1 шт | |
| Рекомендуемый метод контроля температуры | ПИД | |
| Макс. рабочая температура | 160 °С | |
| Термодатчик | 180 °С ± 15 °С открытый | |
| Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | |
| Смачиваемые материалы | SUS316L, Ni-Co, полиамид | |
| Материал уплотнения | Au | |
| Привод регулирующего клапана | Пьезоэлектрический привод | |
| Рабочее давление пневмопривода (тип NC) | 500-600 кПа | |
| Положение монтажа | Вертикальное направление вверх впускного газа-носителя и привода | |
| Вес | 1.4 кг | |