Регулятор массового расхода

Регулятор массового расхода высокой производительности Серия LМ-3000L

  • Воспроизводимость : ±0.5% F.S.
  • Аналоговый выходной сигнал скорости потока: 0～ 5 Впст
  • Точность:   ±1.0%; ±2.5 %
  • Рабочее дифференциальное давление: 50 ～ 300 кПа

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Описание

Серия LM-3000L: высокопроизводительный цифровой массовый расходомер, оборудованный массовым расходомером для жидких сред
Работает в качестве регулятора массового расхода для жидкости при использовании в комбинации с серией CV-1000 или с регулирующим клапаном серии VU.

Особенности

  • Может использоваться в качестве регулятора массового расхода жидкости при интеграции электромагнитного привода
  • Цифровой интерфейс RS-485
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения жидкостных расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Химическое парофазное осаждение

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Химическое парофазное осаждение
  • Очистка и сушка пластин

3. Автомобилестроение

  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель LM-3112L LM-3212L LM-3412L
Расход Коверсия С2Н5ОН 0.1 ～ 1.0 г/мин ～ 6.0 г/мин ～ 20 г/мин
Конверсия Н2О 0.1 ～ 0.2 г/мин ～ 1.0 г/мин ～ 5.0 г/мин
Точность   ±1.0%   ±2.5 %
Линейность   ±0.5 %   ±1.0  %
Воспроизводимость ±0.5% F.S.
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300 кПа
Давление выдерживания 1МПа(G)
Температурный
коэффициент		 Ноль ±0.1 % / ℃
Шаг ±0.1 % / ℃
Рабочая температура 15 ～ 35 °С, 0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He
Смачиваемые материалы SUS316L
Материалы уплотнения SUS316L
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3%   200 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс Модульный разъем RJ45/RS-485
Вес 800 г
В каталог