Нанесение покрытия методом центрифугирования
Приборы SpinNXG от компании Apex Instruments применяются для создания равномерно распределенных пленок различных материалов (в основном полимеров) на твердых поверхностях при помощи центробежной силы.
- Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
- Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
- Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
- Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
- Вакуумный держатель подложек.
- Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
- Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.
- Рабочий диапазон вращения: от 500 до 12000 об/мин
- Большой диапазон продолжительности: 1 - 9999 секунд / шаг
- Период разгона: 2-300 секунды
- Рабочая камера: диаметр 200 мм с тефлоновым покрытием
- Диапазон скоростей: от 500 до 8000 об/мин. (программируемый)
- Рабочая камера: 7 дюймов с покрытием из ПТФЭ
- Количество программ: 10
Данный метод нанесения покрытия характеризуется не только простотой, безопасностью, доступностью, а так же используется в тех случаях, когда необходимо получить слой высокого качества. В отличие, например, от нанесения покрытия методом распыления, центрифугирование обеспечивает более высокую однородность толщины пленки. Несмотря на простоту метода, в литературе можно встретить большое количество экспериментальных и теоретических исследований, которые направлены на объяснение зависимости процесса получения покрытия от электрических, оптических и поверхностных характеристик тонких пленок.
Основным критерием получения равномерно распределенного покрытия данным методом, является четкий контроль расхода и испарения жидкости. Этот критерий лежит в основе всех моделей SpinNXG. Особенность приборов заключается в тщательной калибровке вращающегося механизма, что обеспечивает высокую точность частоты вращения двигателя и, как следствие, высокое качество полученного покрытия.