Ионно-лучевое ассистирование
Ионное ассистирование в отличие от ионно-лучевой очистки проводится не только перед, но и во время процессов нанесения покрытий методами испарения и распыления в вакууме. Энергия ионов при этом существенно ниже и обычно лежит в диапазоне 30 – 300 эВ.
- Высоковакуумный затвор между камер
- Шлюзовая камера с системой вращения
- «Сухой» механический насос
- Откачка камер в автоматическом режиме
- Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей
- Конфигурируется как для исследований, так для пилотного, мелкосерийного производства
- Оборудование идеально подходит для наненсения драгоценных металлов
- Возможность встраивания в чистую комнату
- Наличие шлюза (опция)
- Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей
- Конфигурируется как для исследований, так для пилотного, мелкосерийного производства
- Оборудование идеально подходит для наненсения драгоценных металлов
- Возможность встраивания в чистую комнату
- Наличие шлюза (опция)
- Проверенная временем конструкция, отработанные технические решения и современная компелектация
- Идеально подходит для гибкого мелкосерийного производства
- Хорошая производительность
- Ионно-лучевое асситирование
- Возможна модификация оборудования
- Высокопроизводительное решение для нанесения оптических покрытий
- Хорошая производительность оборудования
- Ионно-лучевое асситировние
Наиболее широкое применение технология ионно-лучевого ассистирования нашла в сочетании с электронно-лучевым испарением и позволила улучшить такие параметры, как адгезия и плотность осаждаемых покрытий. Кроме того, так как при испарении оксидных материалов формируются пленки с недостатком кислорода, то проведение процесса с ассистированием ионами кислорода позволяет контролировать стехиометрию формируемых пленочных структур и в ряде случаев увеличить коэффициент преломления оксидных покрытий. При этом существенно уменьшаются поглощение, рассеяние и шероховатость пленок, а твердость и стойкость к истиранию повышаются.
Компанией Изовак разработаны ионные источники серии “Стрелок-2" для проведения операций ионного ассистирования, которые могут поставляться Заказчику как в составе вакуумных установок типа ORTUS, так и в качестве самостоятельного изделия.