Ориентированная укладка кремниевых подложек в штабеля

Сверхбыстрое измерение ориентации и кривой качания кристаллов

Рентгеновский дифрактометр Omega/Theta представляет собой полностью автоматизированный вертикальный трехосевой дифрактометр для определения ориентации оптической оси различных кристаллов с использованием «Omega-scan» и «Theta-scan» методов.

Схема производственного процесса с применением дифрактометра Omega/Theta

• Скорость измерения: < 5 сек на одно измерение; в 200 раз быстрее «Theta-scan» метода
• Увеличение мощностей: ориентирование до 12 заготовок в одном штабеле
• Надежность > 99%: прочный инструмент промышленного класса для сложных исследований материалов и контроля качества
• Универсальность: определение ориентации и полиморфного типа SiC (2H, 4H, 6H, 15R) и более 40 других материалов
• Высочайшее разрешение: точность определения угла наклона до 0.001°
• Модульный дизайн: возможность апгрейда и кастомизации в будущем с помощью различных опций конфигурации

«Omega-scan» метод – Определение полной ориентации кристалла всего за 5 с

Специальные применения

• Ориентационное картирование турбинных лопастей (монокристаллические суперсплавы на основе никеля)
• Определение параметров кристаллической решетки (твердые фазы Si и Ge)

Программное обеспечение XRDStudio

Расширенное и интуитивно-понятное программное обеспечение с широким набором функций, таких как:

• Различные режимы работы
  - Режим оператора: для измерения фиксированных параметров и обеспечения безопасности рабочего процесса
  - Режим администратора: для изменения/создания новых скриптов и для адаптации прибора к новым материалам
• Управляемый пользовательский интерфейс для удобства работы
• Предустановленные и кастомизируемые рабочие скрипты
• Автоматическое отображение результатов измерений и корректировка значений для выравнивания ориентации кристалла
• Опции картирования
• Функции экспорта и импорта данных

Дополнительные элементы конфигурации

• Лазерный сканер для измерения формы образца
• Фотокамера и обработка изображения для распознавания горизонтальных поверхностей и насечек
• Дополнительная ось вращения образца для трехмерного картирования
• Вторичный канальный коллиматор (анализатор)
• Перемещение вдоль осей и для картирования ориентации
• Азимутальная подстройка и маркировка ориентации кристалла
• Автоматизированное измерение кривой качания с помощью «Theta-scan» метода

Приборы для ориентированной укладки кремниевых подложек в штабеля: