Картирование времени жизни носителей 450 мм подложек

В течение следующих лет, с целью увеличения производственных мощностей, микроэлектронная промышленность планирует увеличить размеры подложек с 300 мм до 450 мм. Данная технология производства уже разработана, а проблема заключается только в стоимости адаптации производственных линий к большим размерам подложек. Такие подложки необходимо проверять на наличие внешних и внутренних примесей и, следовательно, необходимы измерения времени жизни с высоким пространственным разрешением.

Компания Freiberg Instruments, при сотрудничестве с Fraunhofer IISB, разработала установку для измерения времени жизни неосновных носителей заряда 450 мм подложек: по сути в ней используется та же измерительная головка, что и в измерителях моделей MDPmap и MDPpro, но с некоторой адаптацией для картирования больших областей. На рис. 1 представлена одна из первых измеренных карт времени жизни носителей, на которой отчетливо видны следы обработки. На рис. 2 и 3 представлены фото установки, находящейся в лаборатории Fraunhofer IISB.

Рис. 1. Карта времени жизни неосновных носителей заряда 450 мм подложки.

Рис 2. Уникальный метрологический модуль для анализа времени жизни носителей заряда с измерительной головкой на основе MDP сенсора, Fraunhofer IISB, проект SEA4KET.

Рис. 3. Измерительная MDP головка и 450 мм подложка: крупный план.

Измерители электрических свойств полупроводников