Поточная метрология mc-Si брусков

Измерение времени жизни носителей заряда широко используется для контроля качества материалов, особенно в фотоэлектрической промышленности. Делая еще один технологический шаг вперед и проводя измерения путем линейного сканирования, открывается возможность проведения сортировки низкокачественных заготовок брусков поликристаллического кремния перед их распиловкой. Это позволяет избавиться от бракованных устройств на первых этапах производства.

С помощью измерителя MDP inline ingot предоставляется возможность измерения всех четырех граней бруска менее чем за минуту с пространственным разрешением 1 мм. В ходе измерений одновременно анализируются изменения типа проводимости с пространственным разрешением, а также удельное сопротивление образца. Далее, по измеренным параметрам времени жизни, удельного сопротивления или типа проводимости, пользователем определяются критерии резания, которые могут быть перенесены в базу данных оборудования – это позволяет автоматизировать мониторинг материалов, использующихся в фотоэлектрической промышленности. Дополнительно может быть измерена концентрация железа по любой из граней за 2.5 мин.

Автоматизированное определение критерия резания по времени жизни носителей заряда

Регистрация изменения типа проводимости: пространственное разрешение 1 мм