Инжекционно-зависимые измерения
Время жизни неосновных носителей заряда сильно зависит от инжекции (концентрация избыточных носителей). По форме и высоте кривой времени жизни может быть получена информация о доминирующем центре рекомбинации, а также о центре ловушки.
С помощью моделей MDPmap и MDPpro, за счет интеграции до 4 лазерных источников, имеется возможность не только измерения кривой времени жизни, но также кривых фотопроводимости в очень широком диапазоне инжекций. На рис. 1 представлены типовые регистрируемые диапазоны инжекций различных методов измерения времени жизни. MDPmap и MDPpro, благодаря своей сверхвысокой чувствительности позволяют измерять более 7 инжекционных порядков величины.
Рис. 1. Сравнение типовых диапазонов инжекции различных методов измерения.
До сих пор для инжекционных измерений было необходимо использовать несколько различных методов, результаты которых зачастую нельзя сравнить друг с другом. С помощью MDP метода доступно простое перекрытие важных инжекционных диапазонов для анализа кривых времени жизни. С помощью MDPmap весь интересующий диапазон инжекции может быть перекрыт одним методом измерения, как показано на рис. 2 для двух разных точек на пассивированной SiNX подложке mc-si.
Рис. 2. Инжекционно-зависимые измерения времени жизни в двух точках подложки.
Рис. 3. Зависимость времени жизни по объему от инжекции для изменяющегося фактора симметрии и уровня энергии.
Измерители электрических свойств полупроводников
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
- Размер образцов: от 50 × 50 мм до 210 × 210 мм
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
- Размер образцов: от 5 × 5 мм до Ø300 мм (до Ø450 мм по запросу)
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
- Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
- Размер образцов: от 50 × 50 мм до 156 × 156 мм
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
- Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм или от Ø100 мм до Ø450 мм
- Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
- Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
- Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм