Установки реактивно-ионного (ионно-химического) травления
Реактивно-ионное травление относится к удалению материалов с подложки путем бомбардировки ускоренными частицами поверхности подложки. Травление чаще всего используется для изготовления интегральных схем в производстве полупроводников, дисплеев и микроэлектромеханических систем.
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление) / Двойной режим
- Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
- Расходомер газовый: Макс. 100 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление
- Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление)
- Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление) / Двойной режим
- Камера: 330 x 350 x 340 мм (Ш х Г х В)
- Генератор:20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт /13,56 МГц Макс. 300 Вт или 600 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 9,2 дюйма
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 14,4 дюйма
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр