Конфокальная микроскопия

Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия (CLSM) является методом оптического трехмерного (3D) поверхностного профилирования с высокой разрешающей способностью.

Высокая числовая апертура линзовых объективов (до 0.95) и короткая длина волны лазерного излучения обеспечивают получение изображений с высоким разрешением вдоль оптического и поперечного направлений.

Также конфокальные микроскопы обладают значительным контрастом по сравнению с классическими оптическими микроскопами за счет использования специальной диафрагмы (пинхол), отсекающей поток фонового рассеянного света – это помогает улучшить качество изображения.

В конфокальном микроскопе в каждый момент времени регистрируется изображение одной точки объекта, а полноценное изображение строится путем сканирования (движение образца или перестройка оптической системы). Для того чтобы регистрировать свет только от одной точки после объектива располагается пинхол таким образом, что свет, испускаемый анализируемой точкой, проходит через него и будет зарегистрирован, а свет от остальных точек отрезается данным пинхолом.

Повышение контраста изображения также достигается за счет того, что осветитель создает не равномерную освещенность поля зрения, а фокусирует свет в анализируемую точку. Это может достигаться за счет использования светоделительной пластинки, так чтобы и падающий и отраженный свет фокусировались одним объективом. Такая схема к тому же облегчает юстировку.

Получение изображения в режиме реального времени достигается за счет модуля быстрого сканирования и алгоритма обработки сигналов. Для получения 3D профиля поверхности образца требуется менее 1 секунды. Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия является техникой оптического неразрушающего контроля для профилирования поверхностей микроструктур с высоким разрешением. Это является идеальным решением для измерения и проверки полупроводниковых пластин, FPD продуктов, MEMS устройств, поверхностей стекла и других материалов.

Способность измерения высоты достигается благодаря конфокальному расположению источника, образца и детектора. Когда образец находится в фокальной плоскости объектива, свет, отраженный на поверхности образца, фокусируется на конфокальное отверстие, а фотодетектор собирает сигнал от образца. Однако образец помещают в положение не в фокусе, и световой сигнал отклоняется конфокальной диафрагмой. Таким образом, только сигнал в фокусе попадает на фотодетектор. Этим объясняется оптическая селективная способность CLSM технологии.

Для получения 3D профиля поверхности образца, оптические изображения собираются вдоль оси Z. Благодаря конфокальному отверстию интенсивность света максимальна, когда образец располагается в фокальной плоскости.

Максимальная интенсивность излучения регистрируется в фокальной плоскости. Интенсивность уменьшается, когда образец отводится от фокальной плоскости.

Для точного нахождения максимальной интенсивности используется многоточечное позиционирование вблизи максимального положения. Это обеспечивает максимальную воспроизводимость измерения высоты. Высота рассчитывается путем аппроксимации кривой на каждом пикселе. С помощью этой высотной карты строится профиль поверхности образца.

Как уже говорилось выше, важными параметрами данной технологии являются высокое разрешение и высокий контраст. В наших конфокальных микроскопах (серии NS-3500) эти параметры улучшены за счет использования пьезоэлектрических приводов для перемещения сканирующей головки в диапазонах 200 мкм и 400 мкм с шагом в 0.1 нм в режиме точного сканирования, что позволяет получать изображения поверхности образцов с еще более высоким разрешением и контрастом, чем у других конфокальных микроскопов. Данная особенность позволяет анализировать и получать трехмерные изображения мельчайших структур, исследовать до нескольких слоев прозрачных покрытий на различных микросхемах, проводить анализ микроглубоких структур (например, анализ микро- и нанотрещин нефтяных и газовых труб, поршней двигателей автомобилей, закрылок самолетов и т.п.).

Другим важным аспектом для конфокальной микроскопии является необходимость наличия инструмента для анализа полученной информации. Наше простое и интуитивное программное обеспечение позволяет с легкостью анализировать полученные изображения с цифровым разрешением до 0.001 мкм. Также оно предоставляет Вам возможность анализировать большие образцы за счет сканирования малых областей и их последующего сшивания, проводить анализ шероховатости и отдельных пирамидальных и конусообразных микроструктур (что особенно важно при контроле солнечных элементов) и т.п. Дополнительная система автофокусировки и наличие ПЗС-камеры еще больше упрощают процедуру измерения и позволяют Вам полностью сосредоточиться на исследовании, не отвлекаясь на второстепенные действия.

CLSM имеет множество применений в промышленных областях, поскольку это быстрый, неразрушающий и надежный способ 3D профилирования поверхностей. Лазерный конфокальный микроскоп может измерять 3D форму, высоту ступеньки, объем микроструктур, ЖК панели, полупроводниковые пластины, MEMS устройства, поверхности материалов, прозрачные стеклянные поверхности. Кроме того, конфокальная микроскопия широко используется для биологических исследований.

Приборы для конфокальной микроскопии: