Компания Park Systems объявляет о запуске исследовательского атомно-силового микроскопа промышленного класса

Компания Park Systems представила атомно-силовой микроскоп промышленного класса на базе исследовательского АСМ NX20, способного полностью измерять подложки диаметром до 300 мм. Данная модель микроскопа использует специальный вакуумный столик диаметром 300 мм и одновременно имеет низкий уровень собственных шумов (СКО менее 0.05 нм). АСМ Park NX20 300 mm управляется с помощью простого и понятного программного обеспечения SmartScan^TM – автоматизированное программное обеспечение, позволяющее контролировать параметры сканирования, имеющее специальную функцию «Batch mode», с помощью которой пользователи могут выполнять автоматизированное и неограниченное количество последовательных измерений по всей площади исследуемого образца. Данная возможность существенно улучшает производительность и удобство измерений в тех областях, где требуется оперативное получение информации о шероховатости поверхности, ее профиле и наличие дефектов от образца к образцу.

        «На сегодняшний день большие подложки (диаметром до 300 мм) широко используются при разработке технологических процессов, анализе отказов и производстве микроэлектроники. Но до этого дня у нас не было исследовательского АСМ, способного измерять подобные образцы за один раз, тем более с высокой точностью и возможностью неоднократного повторения измерения с помощью всего одного клика» - комментирует Keibock Lee, президент Park Systems. «АСМ Park NX20 300 mm способен измерить всю площадь образца с размерами до 30 мм всего за одно полное сканирование, обладая при этом очень низким уровнем собственного шума, что открывает совершенно новые возможности анализа в подобных областях».

        Данный АСМ позволяет исследовать такие большие образцы за счет использования моторизированного предметного столика с диапазоном перемещения 300 × 300 мм. Таким образом, система может анализировать любой из участков исследуемого образца. В добавление, Park NX20 300 mm – это единственный АСМ на мировом рынке, который позволяет размещать образец уникальным образом в отличие от других аналогов. Например, ближайшие аналоги, имеющиеся у других производителей и способные держать образцы подобных размеров, требуют перезагрузки образца на предметный столик до 9 раз, чтобы полностью измерить всю поверхность, поскольку диапазон перемещений предметного столика ограничен и составляет всего 180 × 220 мм.

        Специальный вакуумный столик разработан таким образом, что позволяет закреплять на него образцы размером 100 – 300 мм, а также меньших размеров и произвольной формы, благодаря наличию нескольких отверстий, через которые происходит вакуумирование между верхней поверхностью столика и нижней поверхностью подложки. Помимо всего прочего, модели, представленный сегодня на мировом рынке ограничивают размеры образцов до 200 мм, а также требуют разрезать образцу на несколько частей для достижения уровня шума, приемлемого для промышленных исследований. Это делает процесс измерения более сложной и трудоемкой задачей. Поэтому Park NX20 300 mm является идеальным решением, особенно для использования несколькими лабораториями или цехами, которые изготавливают как большие, так и маленькие образцы. Также данный АСМ совместим со всеми дополнительными опциями для анализа (электрические, физические, магнитные свойства и т.п.), что позволяет расширять круг исследовательских задач.

        Стоит отметить, что компания Park Systems получила награду Frost and Sullivan 2016 Global Enabling Technology Leadership Award за разработку собственных технологий, таких как ПО SmartScan и бесконтактный режим измерений True Non-Contact, предоставивших большое преимущество пользователям в производительности, точности и простоте измерений, используемых для исследований в области наномасштабов. Данные разработки позволяют исследователям и инженерам совершать новые открытия и совершенствовать имеющиеся технологии в таких областях исследований, как материаловедение, полупроводники, биотехнологии и пр.

        «Park NX20 300 mm является еще одним примером, показывающим возможность компании Park Systems улучшать продукцию, к которой предъявляются высокие требования в быстроразвивающихся областях полупроводниковой промышленности, где только одного лидерского статуса недостаточно для подтверждения работоспособности оборудования» – Mariano Kimbara, аналитик промышленных решений Frost & Sullivan.

        С 1997 года компания Park Systems внесла значительные изменения в свои АСМ, чтобы кардинально улучшить методику получения изображений и повысить эффективность работы пользователей, в результате чего компания и получила свое мировое признание. Park Systems имеет 32 патента в области атомно-силовой микроскопии, включая бесконтактный режим измерений True Non-Contact, использующий независимые XY и Z сканеры, PTR метод измерения жестких дисков, SICM технология для анализа биологических материалов и живых клеток, трехмерные измерения, полная автоматизация программного обеспечения (SmartScan), которое позволяет получить изображение высочайшего разрешения даже неопытным пользователям.

        Компания Park Systems имеет самую широкую линию оборудования, которое позволяет исследователям и инженерам получать информацию наномасштабов в таких областях, как химия, физика, биология, полупроводники, системы хранения данных. Используемые тысячами исследователей по всему мира из самых известных и передовых институтов, лабораторий и предприятий, АСМ компании Park Systems признаны самыми инновационными и удобными в области нанотехнологий.