Системы активной виброизоляции модульного типа DVIA-U

Системы DVIA-U являются высокоэффективными платформами для подавления вибраций в диапазоне 1 – 10 Гц, в котором высокоточные инструменты, чувствительные к вибрациям, теряют свою производительность, что приводит к значительному ухудшению получаемых результатов. Рабочий диапазон DVIA-U начинается с 0.6 Гц и гарантирует степень виброизоляции в 99% при вибрациях в 10 Гц.

Система DVIA-UB – это экономически эффективное решение, разработанное специально для виброизоляции сканирующих электронных микроскопов. Данная модель имеет напольное типоисполнение. Она состоит из двух платформ DVIA-U1000, а также оснащена встроенным контроллером.

Система DVIA-UD представляет собой усовершенствованную систему в виде виброизолирующего стола (включает в свой состав платформы DVIA-U350), которая была разработана для применения в тех областях, где требуется сверхвысокая точность измерений. Эргономичный дизайн конструкции позволяет пользователям располагаться за данной системой как за обычным рабочим столом и полностью сосредоточиться на исследовании. В добавление, наличие колесиков и регулируемых по высоте опор позволяет перемещать и устанавливать данный стол в любом месте лаборатории.

• Напольное типоисполнение
• Низкий профиль
• Подавление вибраций на 5 Гц со степенью 90%, на 10 Гц – 99%
• Уникальный механизм обратной связи и система управления прямого действия
• Контроль колебаний по всем шести степеням свободы
• Грузоподъемность до 1000 кг
• Возможность кастомизации

• Типоисполнение в виде стола
• Эргономичный дизайн для удобства оператора
• Подавление вибраций на 5 Гц со степенью 90%, на 10 Гц – 99%
• Уникальный механизм обратной связи и система управления прямого действия
• Контроль колебаний по всем шести степеням свободы
• Грузоподъемность до 1000 кг
• Идеальное решение для применений, требующих сверхвысокой точности измерений

• Сканирующая электронная микроскопия
• Сканирующая зондовая микроскопия
• Сканирующая туннельная микроскопия в ультравысоком вакууме
• Интерферометрия
• Другие области применения, требующие сверхвысокой точности

Поскольку системы активной виброизоляции не имеют собственных резонансных частот, они позволяют гасить вибрации в диапазоне 1 – 10 Гц, в отличие от систем пассивной виброизоляции, которые усиливают низкочастотные вибрации из-за наличия собственных резонансных частот, что оказывает особенно негативное влияние при получении изображений на уровне наномасштабов.

Системы виброизоляции DVIA-U, в отличие от широко распространенных подобных систем, не требуют наличие внешних компрессоров подачи воздуха для обеспечения работоспособности. Ультра жесткие металлические пружины внутри изоляторов не только обеспечивают высокую степень поддержания равновесного состояния, но также гарантируют превосходную пассивную виброизоляцию от вибраций на высоких частотах.

Механизм обратной связи и система управления прямого действия

Системы активной виброизоляции серии DVIA используют уникальный механизм обратной связи (FB), который непрерывно регистрирует колебания, нарушающие равновесное состояние системы, и мгновенно реагирует на данную вибрацию с целью гашения возникающих колебаний в реальном времени. Система управления прямого действия (FF) используется для фильтрации вибраций, идущих от пола, с помощью предустановленных алгоритмов.

Контроль колебаний по всем шести степеням свободы

Внутренние сенсоры и силовые приводы, установленные внутри систем серии DVIA, регистрируют и компенсируют все колебания и перемещения по поступательным степеням свободы (движение вперед/назад вдоль осей X, Y, Z) и по вращательным степеням свободы (вращение/качание вокруг осей X, Y, Z).

Измерение со сверхвысоким разрешением на уровне наномасштабов

Использование систем активной виброизоляции DVIA-U позволяет избавиться от нежелательных искажений. Как показано на рисунке ниже, при исследовании с помощью СЭМ, использование системы DVIA-UB позволяет устранить размытие линий из-за низкочастотных вибраций и делает изображения более четкими.

Изображение с SEM микроскопа: без DVIA-UB (слева), с DVIA-UB (справа).