Система активной виброизоляции напольного типа DVIA-MB

Данная система была специально разработана для совместного использования со сканирующими и просвечивающими  электронными микроскопами. DVIA-MB обеспечивает максимальную активную виброизоляцию в диапазоне «опасных» низких частот в своем классе, что делает ее идеальным выбором для получения изображений биологических объектов и прочих тонких структур с самым высоким разрешением. Кроме того, виброизолирующая платформа системы DVIA-MB позволяет размещать на ней все коммерческие электронные микроскопы, доступные на мировом рынке.

• Типоисполнение в виде платформы
• Низкий профиль
• Подавление вибраций на 2 Гц со степенью 90%, на 10 Гц – 99%
• Уникальный механизм обратной связи и система управления прямого действия
• Контроль колебаний по всем шести степеням свободы
• Грузоподъемность до 6000 кг
• Возможность кастомизации

• Сканирующая электронная микроскопия
• Просвечивающая электронная микроскопия

Система DVIA-MB включает в свой состав четыре высокоточных активных виброизолятора, в которые также встроены воздушные пружины (пассивная виброизоляция) и система активной изоляции. Также в данные изоляторы установлены внутренние датчики и электромагнитные приводы. Все эти компоненты позволяют с высокой эффективностью компенсировать колебания от низкочастотных и высокочастотных вибраций.

Преодоление пределов работы систем пассивной виброизоляции

Поскольку системы активной виброизоляции не имеют собственных резонансных частот, они позволяют гасить вибрации в диапазоне 1 – 10 Гц, в отличие от систем пассивной виброизоляции, которые усиливают низкочастотные вибрации из-за наличия собственных резонансных частот, что оказывает особенно негативное влияние при получении изображений на уровне наномасштабов.

Механизм обратной связи и система управления прямого действия

Системы активной виброизоляции серии DVIA используют уникальный механизм обратной связи (FB), который непрерывно регистрирует колебания, нарушающие равновесное состояние системы, и мгновенно реагирует на данную вибрацию с целью гашения возникающих колебаний в реальном времени. Система управления прямого действия (FF) используется для фильтрации вибраций, идущих от пола, с помощью предустановленных алгоритмов.

Контроль колебаний по всем шести степеням свободы

Внутренние сенсоры и силовые приводы, установленные внутри систем серии DVIA, регистрируют и компенсируют все колебания и перемещения по поступательным степеням свободы (движение вперед/назад вдоль осей X, Y, Z) и по вращательным степеням свободы (вращение/качание вокруг осей X, Y, Z).

Измерение со сверхвысоким разрешением на уровне наномасштабов

Использование систем активной виброизоляции DVIA-MB позволяет избавиться от нежелательных искажений. Как показано на рисунках ниже, при исследовании с помощью СЭМ, использование системы активной виброизоляции DVIA-MB позволяет устранить размытие линий из-за низкочастотных вибраций и делает изображения более четкими.

Изображение с SEM микроскопа: без DVIA-MB (слева), с DVIA-MB (справа).

Изображение с SEM микроскопа: пассивная виброизоляция (слева; границы структур нечеткие активная виброизоляция (справа; границы структур четкие).