Гибридная система активной виброизоляции лабораторного типа DVIA-MO

Гибридная система активной виброизоляции DVIA-MO представляет собой универсальный оптический стол. Комбинация оптической плиты и активных виброизоляторов обеспечивает превосходную максимальную активную виброизоляцию в широком диапазоне частот (в частности, в диапазоне «опасных» низких частот до 10 Гц), что позволяет использовать данное оборудование в сочетании с высокоточными лабораторными и промышленными установками, предназначенными для получения изображений сверхвысокого разрешения.

• Типоисполнение в виде оптического стола
• Подавление вибраций на 2 Гц со степенью 90%, на 10 Гц – 99%
• Уникальный механизм обратной связи и система управления прямого действия
• Контроль колебаний по всем шести степеням свободы
• Грузоподъемность до 6000 кг
• Возможность кастомизации

• Сканирующая электронная микроскопия
• Просвечивающая электронная микроскопия
• Атомно-силовая микроскопия
• Микроскопия и спектроскопия высокого разрешения
• Анализ тонких наноструктур и наноматериалов

Система DVIA-MO включает в свой состав четыре высокоточных активных виброизолятора, в которые также встроены воздушные пружины (пассивная виброизоляция) и система активной изоляции. Также в данные изоляторы установлены внутренние датчики и электромагнитные приводы. Все эти компоненты позволяют с высокой эффективностью компенсировать колебания от низкочастотных и высокочастотных вибраций.

Преодоление пределов работы систем пассивной виброизоляции

Поскольку системы активной виброизоляции не имеют собственных резонансных частот, они позволяют гасить вибрации в диапазоне 1 – 10 Гц, в отличие от систем пассивной виброизоляции, которые усиливают низкочастотные вибрации из-за наличия собственных резонансных частот, что оказывает особенно негативное влияние при получении изображений на уровне наномасштабов.

Механизм обратной связи и система управления прямого действия

Системы активной виброизоляции серии DVIA используют уникальный механизм обратной связи (FB), который непрерывно регистрирует колебания, нарушающие равновесное состояние системы, и мгновенно реагирует на данную вибрацию с целью гашения возникающих колебаний в реальном времени. Система управления прямого действия (FF) используется для фильтрации вибраций, идущих от пола, с помощью предустановленных алгоритмов.

Контроль колебаний по всем шести степеням свободы

Внутренние сенсоры и силовые приводы, установленные внутри систем серии DVIA, регистрируют и компенсируют все колебания и перемещения по поступательным степеням свободы (движение вперед/назад вдоль осей X, Y, Z) и по вращательным степеням свободы (вращение/качание вокруг осей X, Y, Z).

Сотовая структура внутренней панели

Внутренне исполнение оптической плиты представляет собой сотовую структуру, состоящую из слоев гофрированной стали толщиной 0.25 мм, что позволяет увеличить плотность основы плиты и уменьшить размер отдельной соты. Данные слои гофрированной стали уложены друг на друга и закреплены между собой эпоксидной смолой, а поверх них, снизу и сбоку уложены нержавеющая и углеродная стали – это обеспечивает хорошую статическую и динамическую жесткость, что повышает производительность всей системы в целом.

Мельчайшая сотовая структура

Используемая гофрированная сталь с мельчайшей сотовой структурой (площадь одной ячейки составляет всего 3.2 см²) позволяет достичь максимальной плотности укладки стальных слоев, что является важным фактором для повышения жесткости оптического стола. Использование стали с такой мелкой структурой в качестве основы оптического стола способствует увеличению модуля упругости, что, в свою очередь, позволяет увеличить собственные резонансные частоты верхней оптической плиты. В результате, влияние внешних нежелательных вибраций уменьшается, что приводит к снижению силовых колебаний, негативно влияющих на системы виброизоляции. Таким образом, чем выше собственные резонансные частоты оптического стола, тем ниже амплитуда «вредных» низкочастотных колебаний, следовательно, тем меньше отклонения при измерениях и тем выше качество результатов измерений. Данная особенность имеет решающее значение при проведении высокоточных исследований в области микроскопии на уровне наномасштабов.

Оптимальна рабочая поверхность

Перед установкой на оптический стол верхняя оптическая плита шлифуется с высокой аккуратностью для обеспечения гладкости и чистоты ее поверхности, а также для того, чтобы она не отбрасывала блики. Далее в данной плите просверливаются крепежные отверстия с резьбой типа M6 и расстоянием между центрами 25 мм.

Защита от протеканий

Под каждым крепежным отверстием с помощью эпоксидной смолы закреплен специальный нейлоновый рожок, предотвращающий попадание различных жидкостей и материалов в сотовую структуру.

Возможность кастомизации

Исходя из конечных задач пользователя мы предоставляем услуги кастомизации с целью изготовления различных платформ и необходимой для измерений оснастки.