Спектрограф для работы в мягком рентгеновском и крайнем УФ диапазонах с плоским полем McPherson 251MX
- Диапазон длин волн: 1 нм - 20 нм
- Спектральное разрешение: 0.02 нм
- Фокусное расстояние: 5649 мм
- Оптическая схема: С плоским полем
- Матричный детектор
- Построение изображения
- Вакуумирование, сверхсильное вакуумирование
Производитель McPherson
Отличительные особенности
- Решетки с коррекцией аберраций
- Плоское поле для непосредственного детектирования с помощью ПЗС или МКП
- Быстрое получение спектральных данных
- Работа в условиях вакуума до 10-6 торр
- Сверхвысокий вакуум (UHV) (опционально)
- Возможность работы в любом положении
- Предлагается с детекторами
Описание
В модели спектрометра McPherson 251MX с коррекцией аберраций используются решетки со сферической подложкой и записью волнового фронта, сопряженного с асферической поверхностью, с целью коррекции аберраций. Спектрограф высокого разрешения работает в диапазоне мягкого рентгеновского излучения. Это идеальное решение для анализа крайнего ультрафиолетового излучения. Большое фокусное расстояние и выраженные спектральные линии гарантируют высокое спектральное разрешение. Модель 251MX позволяет в полной мере использовать превосходные характеристики дифракционной решетки. Высококачественные решетки доступны на заказ. Спектрограф 251MX отлично подходит для работы с ПЗС детекторами, осуществляющими непосредственное детектирование высокоэнергетического спектра. Детекторы ЭОП на микроканальных пластинах также можно установить в данных системах.
Технические характеристики
| Фокусное расстояние | 25 мм |
| Угол падения излучения | 87˚ (на 3˚ меньше при скользящем падении) |
| Положение детектора | Непрерывно изменяется, возможность поворота |
| Крепление дифракционной решетки | 2-позиционное, регулируется в вакууме |
| Затвор | Стандартный, регулируется в вакууме |
| Входная щель | Ширина плавно регулируется в диапазоне 10 мкм – 3 мм, регулируется в вакууме |
| Диапазон длин волн | В зависимости от выбранного типа решетки |
Доступные для установки* в 251MX дифракционные решетки:
| Угол отклонения | Количество штрихов | Разрешение | Фокусное расстояние | Спектральный диапазон в нм | Спектральный диапазон в эВ |
| 167˚ | 1200 штр/мм | 0.028 нм | 25 мм | 5 – 20 нм | 248 – 62 эВ |
| 172˚ | 2400 штр/мм | 0.01 нм | 20 мм | 1 – 5 нм | 1240 – 248 эВ |
*В прибор может быть установлено одновременно до 2-х решеток
 |
 |
 |
Выше представленные данные получены с помощью ПЗС-детектора. Мы воспользовались рентгеновским источником излучения модели 642 с простой заменой анодов для фокусировки и тестирования разрешения.
Компания McPherson, Inc. производит спектрометры для работы в спектральном диапазоне крайнего ультрафиолетового и мягкого рентгеновского излучений. Практическое применение данного спектрографа включает в себя разработку источников лазерного излучения и гармоник высшего порядка (HHG), а также других источников плазмы для ультрафиолетовой литографии (EUVL) и диагностику нестационарных.
