Предметный столик для картирования
- Воспроизводимость перемещения: 1 мкм
- Точность перемещения: 0.05 мкм (мин.), 0.1 мкм (типовая)
- Пространственное разрешение: 1 мкм
- Сканирование 50 мм подложек с шагом 1 мм за 8-9 минут при минимальном времени интегрирования
Производитель DXG
Описание
Описание
- Диапазон перемещений по XY: 76 × 52 мм (опционально до 100 × 100 мм)
- Воспроизводимость перемещения: 1 мкм
- Точность перемещения: 0.05 мкм (мин.), 0.1 мкм (типовая)
- Пространственное разрешение: 1 мкм
- Сканирование 50 мм подложек с шагом 1 мм за 8-9 минут при минимальном времени интегрирования
- Сканирование области 30 × 30 мкм с шагом 0.1 мкм в течение 5 часов при минимальном времени интегрирования
- Сканирование области 30 × 30 мкм с шагом 1 мкм в течение 3 минут при минимальном времени интегрирования
- Пластинка для наклона образцов