Аналитический вакуумный спектрофотометр дальнего УФ VUVAS 2000
- Работа в условиях глубокого вакуума, измерения в дальней УФ области спектра
- Рабочий диапазон 120 – 350 нм
- Степень вакуумирования: 10-6 торр
- Полоса пропускания: 1 – 8 нм (регулируемая)
- Точность калибровки: 0.1 нм
Производитель McPherson
Описание
Система VUVAS 2000 представляет собой аналитический спектрофотометр, работающий в условиях глубокого вакуума и позволяющий проводить измерения в дальней УФ области спектра. Данная система является оптически скорректированной, имеет две системы регистрации и предназначена для измерения твердых, жидких или газообразных образцов.
Даннная система можеть быть создана на основе УФ монохроматора McPherson 234/302.
VUVAS имеет рабочий диапазон 120 – 350 нм и работает либо в условиях вакуума, либо за счет продувки. Дейтериевая лампа с выходным окном из фтористого магния совместно со светоотражающим конденсором и оптимизированным вакуумным монохроматором модели 234/302 обеспечивают эффективную передачу излучения во всем рабочем диапазоне для достижения наилучшего отношения сигнал/шум. Измерения проводятся с помощью коллимированного пучка – это позволяет использовать разнообразные конфигурации исследуемых образцов и обеспечивает высокий уровень сигнала на детекторе(-ах). Оптически модулированные сигналы (эталонный и для образца) поступают на эталонный детектор и детектор в камере образца. Восстановление переменного сигнала позволяет избавиться от шума, что приводит к улучшению получаемых данных.
Положение углов падения излучения на образец и сигнала на детектор выбирается вручную и определяется с помощью установленных шкал. Установка углов производится в условиях вакуума или во время продувки. Исследуемый образец и детектор можно перемещать независимо друг от друга. С помощью такой системы можно измерять как зеркальное отражение, так и рассеяние. Измерение пропускания осуществляется за счет построения графика зависимости пропускания от длины волны, данные из которого затем легко преобразовать в единицы поглощения с помощью постобработки.
Система VUVAS поставляется совместно с вакуумным насосом или автоматической системой продувки газом и вакуумным манометром. Простое и понятное программное обеспечение (на основе LabView) позволяет управлять параметрами измерения и записывать сигнал.
Система VUVAS 2000 всегда предоставляет гарантированные результаты:
Принцип работы
Система VUVAS 2000 позволяет проводить измерения пропускания, отражения, рассеяния и поглощения (для последних двух требуется постобработка полученных данных).
Во время работы оптический модулятор разделяет луч на два пучка: для эталонного измерения и для измерения образца. Частота модуляции составляет 90 Гц. В стандартный держатель образца может устанавливаться до трех образцов диаметром до 25 мм и толщиной до 6 мм. По запросу возможно проектирование других держателей образцов, пожалуйста, уточняйте информацию. Также доступны держатели для измерения пропускания и построения пространственной карты поверхности больших образцов (например, полупроводниковые подложки).
Программное обеспечение
Оптическая система с улучшенным УФ покрытием оптимизирована с помощью компьютера. Система VUVAS в исполнении с системой продувки поставляется совместно с модулем управления.
Простое программное обеспечение позволяет устанавливать параметры сканирования, длину волны, а также управляет записью сигнала. Графический пользовательский интерфейс обновляет данные об измерении непосредственно во время процесса сканирования. Данные сохраняются в формате ASCII или .spc и представляют собой зависимость отражения (или пропускания) от длины волны. Также возможен сбор данных в виде напряжения. Система оснащена ПК для удобства работы.
Технические характеристики
Рабочий диапазон длин волн | 120 – 350 нм |
Степень вакуумирования | 10-6 торр |
Система продувки азотом | Опционально |
Точность системы на 157 нм | СКО 0.05% |
Точность системы общая | СКО < 0.3% |
Стабильность (за 1 час) | СКО < 0.5% |
Полоса пропускания | 1 – 8 нм (регулируемая) |
Точность калибровки | 0.1 нм |
Воспроизводимость по длине волны | 0.05 нм |
Величина шага двигателя | 0.00006 нм |
Измерительный луч | Коллимированный |
Диапазон углов установки образца | 0 – 60° |
Диапазон углов установки детектора | 10 – 180° |
Детектор | Сцинтиллятор R6095 |
Поляризатор | Опционально |
Ограничивающая ирисовая диафрагма | Опционально |
Габаритные размеры | 1540 × 1250 × 1100 мм |
Электропитание | 110 В/ 30 А или 220 – 240 В/20 А |
Потребление воды | 2 л/мин |