Микроустановка зондового контроля Пельтье с отверстием типа MPS-PTH

Микро установка зондового контроля типа отверстие Пельтье (MPS-PTH) это сверхминиатюрная установка зондового контроля с функциями котроля вакууума и температуры. Микро установка зондового контроля Пельтье типа оснащена системой охлаждения, которая поддерживает одинаковые скорости нагрева и охлаждения. Оборудование может измерять электрические и диэлектрические свойства тонких пленок в температурном диапазоне -40 ~+170 °С. Более того, доступны оптические измерения с использованием сапфирового покрытия смотрового окна, и могут быть использованы микроскопы для наблюдения за образцами. При использовании MPS Пельтье типа с отверстием (Ø3.2 мм), возможен зондовый контроль одновременно при освещении снизу.   Модель MPS с отверстием оптимизирована для исследования солнечных элементов.

Чтобы понизить температуру предметного столика Пельтье до -40 °С, используйте охлаждающую установку для поддержания горячей противоположной стороны предметного столика Пельтье около 5 °С.

Отличительные особенности

• Алюминиевая камера с небольшим весом (650-950 г), маленьким объемом (100 см³), низкопрофильная (24.5 мм)
• Оригинальная конструкция ручных зондов или  пьезо-управляемых электрических зондов (4 зонда стандартно)
• Температурный диапазон -40 °С ~+ 170 °С
• Диапазон от DС до RF (стандартно 30 МГц, возможно расширение до 300 МГц)
• Окно из кварцевого стекла или сапфира до Ø=40 мм
• Остаточное давление: ≤2x10^-5 торр (турбонасос), ≤4x10^-3 торр (ротационный насос)

• Ручной зонд: температурный диапазон ≤450 °С, размер контакта 50 мкм
  Тонкая регулировка силы (диапазон от 0~50 г)
  Тонкая регулировка высоты (диапазон ±1 мм)

• Разрешение: ˂ 50 нм
• Сила: 1 Н (100 г)
• Движение (X, Y) : ± 5.5 мм
• Движение Z: ± 2.25 мм

Схема системы зондового контроля MPS-PTH

Главная камера зондового контроля 

• Рамановская спектроскопия
• Фототок
• Газовый датчик
• Термоэлектрический элемент
• Отражающая способность
• Фотодетектор/ модулятор
• Теплопроводность (3ω-метод)
• Испытания полупроводниковых материалов
• Тепловой гистерезис
• Наблюдение коммутирования сегнетоэлектрического домена

Примеры:

• Картографирование фототоком
  
• Характеристика резистивного газового датчика
  
• Рамановская спектроскопия
  
• Электрические измерения
  

Видео-обзор

Картографирование фототоком 1

Картографирование фототоком 2

Аппаратное обеспечение

• ПИД контроль
• Программируемый температурный цикл с количеством шагов до 100
• Отображение в режиме реального времени

Программное обеспечение

DC

• Остаточный ток: ˂100 пА (стандартный коаксиальный кабель) ˂100 фА (дополнительный трехпроводной коаксиальный кабель)
• Максимальное напряжение постоянного тока/ сила тока: 500 В DC / 1000 мА
• Программное обеспечение, управляемое истопником-измерителем Sourcemeter Keithley 2400 или 2401

RF

• Максимальная частота без поправок: 30 МГц (При использовании анализатора цепей Agilent E5071C)
• С помощью Lw  и Cp уменьшение измерений до 300-400 МГц: Опция

Эквивалентная цепь микро установки зондового контроля для измерений  RF