Терморефлектометрический изображающий микроскоп TRM250
- TRM оборудование высокого разрешения на базе микроскопа
- Возможность анализа образцов с помощью микрозондовых станции
- Соответствие изображениям теплового отражения с различными длинами волн
Производитель NANOSCOPE Systems, Inc
Описание
TRM250 позволяет измерять распределение изменений коэффициента отражения света в зависимости от величины изменения температуры на поверхности или внутри определенной поверхности образца с помощью высокочувствительного оптического микроскопа. Данная технология позволяет получить информацию о тепловом изображении и обеспечивает превосходное разрешение термического изображения. TRM – это новый метод, который позволяет наблюдать за состоянием теплового распределения образца с суб-микрометровым пространственным разрешением, которое невозможно получить с помощью обычного метода теплового наблюдения.
Принцип работы
TRM микроскопия – это технология, которая вычисляет температуру исследуемого образца путем измерения оптического коэффициента отражения на основе физического явления, состоящего в том, что оптический коэффициент отражения образца изменяется в зависимости от температуры самого образца. Это позволяет получать тепловые изображения с высоким мкм разрешением, которые не могли быть получены ранее с помощью традиционных тепловизионных методов.
Обычное оптическое изображение
TRM изображение
Отличительные особенности
- TRM оборудование высокого разрешения на базе микроскопа
- Возможность анализа образцов с помощью микрозондовых станции
- Соответствие изображениям теплового отражения с различными длинами волн
- Специальный высокоскоростной интерфейс нагрева/охлаждения
- Визуализация переходного термического анализа (опциональный режим)
- Доступна индивидуальная кастомизация
Переходный термический анализ (опциональный режим)
Характеристики
Модель | TRM250 | |||||
Увеличение рабочего объектива | 5Х | 10Х | 20Х | 50Х | 100Х | |
Поле зрения объектива | По горизонтали (мкм) | 1330 | 1400 | 700 | 280 | 140 |
По вертикали (мкм) | 1330 | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
Тип детектора | КМОП | |||||
Спектральный рабочий диапазон | 370 – 1100 нм | |||||
Горизонтальное пространственное разрешение | 0.5 мкм | |||||
Разрешение по температуре | 1°C | |||||
Количество пикселей для обычной визуализации | 2048 × 2048 | |||||
Количество пикселей для температурной визуализации | 1024 × 1024 | |||||
Подсветка | Источник света | Галогеновая лампа | ||||
Выходная мощность | 150 Вт | |||||
Фильтровое колесо | 472 / 534 / 586 / 625 / 661 нм + 1 пустой слот | |||||
TE нагреватель | Диапазон температур | От комн. темп. до 110°C | ||||
Скорость нагрева/охлаждения | Нагрев от комн. темп. до 90°C – 2 мин Охлаждение от 90°C до комн. темп. – 5 мин |
|||||
Блок обработки данных | Специализированный ПК | |||||
Источник питания | Напряжение питания | 100 – 240 В, перем. ток, 50/60 Гц | ||||
Энергопотребление | Макс. 500 ВА |
Примеры измерений
Экзотермическое измерение ширины линии диаграммы направленности
Углеродный лист
Экзотермические измерения структуры МЭМС
Измерение температуры микротранзистора
Микронагреватель
Температурное распределение в оксиде индия/галлия/цинка
Тепловыделяющее микроустройство