Гибридный XEM комплекс (HYBRID XEM)

  • Возможность получения SEM изображений в нм масштабе
  • Уникальная система объединения лучей
  • Субмикрометровый размер рабочего луча + зондовый ток более 100 мкА
  • Легкость наведения на мкм объекты
  • Возможность наблюдения за поверхностью обрабатываемого образца
  • Кастомизация под исследовательский инструмент

Производитель Seron Technologies

Узнайте цену

Особенности

SEM высокого разрешения + Рентгеновская система микрофокусировки + Электронно-лучевая система микрообъединения

Hybrid XEM представляет собой инструмент для объединения элементов на наноуровне, который одновременно может обеспечивать наблюдение за поверхностью (SEM) и получать  рентгеновские просвечивающие изображения. Данная система была специально разработана для применения в нанотехнологических процессах и для измерения субмикронных элементов на рентгеновских изображениях. Hybrid XEM позволяет получать высококонтрастные изображения при низких напряжениях, что открывает для данного микроскопа широкий ряд применений.

  • Возможность получения SEM изображений в нм масштабе
  • Уникальная система объединения лучей
  • Субмикрометровый размер рабочего луча + зондовый ток более 100 мкА
  • Легкость наведения на мкм объекты
  • Возможность наблюдения за поверхностью обрабатываемого образца
  • Кастомизация под исследовательский инструмент

Характеристики

  1. Электронная оптическая система
    • Размер луча: 15 нм – несколько десятков мкм
    • Ускоряющее напряжение: 35 кэВ (макс. 40 кэВ)
    • Изображение: электронный дисплей
    • Ток зондирования: несколько пА – десятки мкА (SEM), 50 – 120 мкА (рентген)
    • Увеличение: 5Х – 100,000Х (SEM), 5Х – 3,000Х (рентген)
  2. Детектор: опция
  3. Отображение результатов: режим анализа, режим исследования, режим фотографии
  4. Рабочее расстояние: 50 мм
  5. Система вакуумирования
    • Полная автоматизация (или ручной режим)
    • Роторный насос + диффузионный насос, манометры Пирани + Пеннинга
    • Линия вакуумирования и система клапанов
    • Стойка управления
  6. Управляющее программное окружение и аксессуары
    • Windows M (98/2000/XP)
    • Последовательная связь: интерфейс управления данными; отдельный внешний блок управления драйвером (общая SET плата драйверов)
    • Интегрируемая плата для нейтрализатора/малой камеры экранирования (без измерителя тока)
    • Камера круглого типа, вакуумный фланец
  7. Параметры управляющего ПК
    • 19-дюймовый LCD-монитор с разрешением 1024×1024 пикселя для рентгеновских исследований
    • Процессор Intel Quad Core с частотой 3.0 ГГц
    • Оперативная память 1 Гб
    • Возможность подключения к локальной сети
В каталог