Лазерный конфокальный модуль промышленного типа NS-3800

Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
Получение конфокального изображения в реальном времени
Возможность адаптации для анализа больших образцов
Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области

Описание

Характеристики

Материалы

Особенности

NS-3800 представляет собой высокоскоростной конфокальный лазерный сканирующий модуль для проведения высокоточных и надежных трехмерных измерений топографии поверхности. Данный модуль был спроектирован как основная измерительная часть с возможностью установки на различные системы перемещения – это позволяет проводить измерения топографии поверхности в различных областях достаточно крупных образцов. Простота установки и надежная конструкция промышленного типа предоставляют надежное решение в тех случаях, где настольные портативные системы (см. NS-3500) не могут быть применены. Имеется возможность кастомизации системы под измерение пользовательских образцов.

Отличительные особенности

Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
Получение конфокального изображения в реальном времени
Простота анализа полученных данных
Высокоточное и высокоскоростное измерение высоты
Отсутствие пробоподготовки

Примеры измерений с помощью NS-3800

Количественный анализ текстуры солнечного элемента: параметризация 1
Количественный анализ текстуры солнечного элемента: параметризация 2
Автоматическая 2D-регистрация: измерение параметров и создание отчета с помощью алгоритма количественной оценки
Отчет об измеренных параметрах: измерение параметров и создание отчета с помощью алгоритма количественной оценки
Трехмерная визуализация пирамидальной текстуры солнечного элемента
Количественной анализ дорожки солнечного элемента: двумерный график профиля дорожки вдоль установленной линии сечения
Количественной анализ дорожки солнечного элемента: отчет об измеренных параметрах
Трехмерная визуализация выбранной дорожки солнечного элемента

Технические характеристики

Модель			NS-3800
Контроллер			NS-3800E
Увеличение рабочего объектива			10^Х	20^Х	50^Х	100^Х	150^Х
Поле зрения объектива	По горизонтали (мкм)		1400	700	280	140	93
	По вертикали (мкм)		1050	525	210	105	70
Рабочее расстояние (мм)			16.5	3.1	0.54	0.3	0.2
Числовая апертура (NA)			0.30	0.46	0.80	0.95	0.95
Оптическое увеличение			От 1^Х до 6^Х
Общее увеличение			От 178^Х до 26700^Х
Оптическая система для измерения			Конфокальный пинхол
Измерение высоты	Диапазон измерения по высоте ¹⁾		Точное сканирование: 100 мкм и/или Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-L)
			Точное сканирование: 400 мкм и/или Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-D)
			Точное сканирование: 200 мкм или Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-T)
	Пространственное разрешение		0.001 мкм
	Воспроизводимость (3σ) ²⁾		0.010 мкм
Измерение ширины	Пространственное разрешение		0.001 мкм
	Воспроизводимость (3σ)³⁾		0.020 мкм
Получение кадров данных	Разрешающая способность		1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 пикс.
	Конфокальное изображение		12 бит
	Цветное изображение		8 бит для каждого RGB элемента
	Измерение высоты		16 бит
Скорость сканирования	Сканирование поверхности		20 – 160 Гц
	Линейное сканирование		≈8 кГц
Автоматические функции			Автофокусировка
Лазерный источник для конфокальных измерений		Длина волны	405 нм
		Выходная мощность	≈ 2 мВт
		Класс лазера	Класс 3b
Детектор лазерного излучения			ФЭУ
Блок обработки данных			Специализированный ПК
Источник питания	Напряжение питания		100 – 240 В, перем. ток, 50/60 Гц
	Энергопотребление		Макс. 500 ВА
Вес	Микроскоп		≈ 8 кг
	Контроллер		≈ 8 кг
Система виброизоляции (опционально)			Активная виброизоляция

¹⁾Точное сканирование осуществляется за счет пьезоэлектрического привода (PZT). Режим двойного сканирования –SD (точное + грубое) доступен только для модели NS-3800-L.

²⁾Стандартный образец с высотой ступени 1 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100^Х/NA 0.95

³⁾Стандартный образец с шагом структуры 5 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100^Х/NA 0.95

Габаритные размеры, мм

Лазерный конфокальный модуль промышленного типа NS-3800

В каталог