Самый точный атомно-силовой микроскоп Park NX-HDM/XE-XDM

Высокая производительность, автоматический поиск дефектов

Задача по идентификации нанодефектов представляет собой довольно трудоемкий процесс для инженеров, работающих со средами и плоскими подложками. Park NX-HDM – это атомно-силовой микроскоп, ускоряющий на порядок процесс обнаружения дефектов за счет применения системы автоматизированной идентификации дефектов, сканирования и анализа. Park NX-HDM связан с широким набором оптических контрольных инструментов, которые значительно ускоряют автоматический поиск дефектов.

Измерение шероховатости поверхности в доли ангстрем

Все чаще промышленность нуждается в сверхплоских средах и подложках для сокращения размеров устройств. Park NX-HDM обеспечивает точное измерение шероховатости поверхности в доли ангстрем: скан за сканом. Данный АСМ обладает минимальным уровнем собственных шумов и уникальной технологией True Non-Contact^TM, он является самым точным АСМ для измерения шероховатости поверхности, предлагаемым на рынке.

Автоматический обзор дефектов для сред и подложек

Автоматический обзор дефектов (Park ADR) в NX-HDM ускоряет и улучшает процесс выявления дефектов в подложках и средах, при сканировании и анализе. С помощью схемы расположения дефектов, полученной от оптического контрольного инструмента, Park ADR автоматически переходит в каждую из точек и отображает дефекты двумя способами: (1) изображение увеличивается, производится повторное сканирование для определения положения дефектов, (2) изображение немного увеличивается для получения детализации дефектов. Тест запускается с демонстрацией реальных дефектов с 10-кратным увеличением для их отображения в автоматическом режиме.

Автоматическое перемещение и настройка схем расположения дефектов в АСМ

Применение передового алгоритма картографирования дефектов собственной разработки позволяет трансформировать схему, полученную от автоматического оптического контрольного инструмента, в изображение АСМ. Данная технология позволяет выполнить полную автоматизацию сканирования для получения высококачественного изображения дефектов.

Схема размещения дефектов получена из оптического контрольного инструмента 

Автоматическое поисковое сканирование с масштабированием

Оптимизация параметров сканирования выполняется в два этапа: (1) быстрое поисковое сканирование с низким разрешением для определения местоположения дефектов, увеличенное сканирование высокого разрешения (2) для получения детализации дефектов. Размер и скорость сканирования регулируются в соответствии с потребностями оператора.

Точная обратная связь за счет скоростного сервопривода оси Z в режиме True Non-Contact

	Полуконтактный метод Быстрый износ зонда = размытое сканирование низкого качества Разрушающее образец взаимодействие зонд-образец = нарушение и изменение поверхности образца Высокая зависимость от параметров измерений
	True Non-ContactTM режим: Ниже износ зонда = длительное сканирование высокого разрешения Неразрушающий контакт зонд-образец = минимальное нарушение образца Невосприимчивость параметров измерений (при получении результатов)

Точное топографическое изображение образца, полученное с помощью Z-детектора с низким уровнем шума

Отсутствие артефактов в результате сканирования АСМ на топографическом изображении с низким уровнем шума и обратной связью

Используется сигнал Z-детектора низкого уровня шума для получения рельефа изображения Низкий уровень шума Z-детектора 0.02 нм в широком диапазоне частот Отсутствие смещения краев (начальных и замыкающих) Выполняется только одна калибровка на заводе

Автоматизированная программа значительно упрощает работу с NX-HDM. Методы измерения поддерживают многозональный анализ поверхности образца с оптимальными настройками кантилевера, скорости сканирования, коэффициента усиления.

Программное обеспечение производит измерение образца в соответствии с заранее определенной процедурой, которая отмечена в файле метода. Удобный интерфейс программы обеспечивает оператора необходимой гибкостью для реализации широкого спектра функций системы.

Park NX-HDM имеет:

• автоматический, полуавтоматический и ручной режимы сканирования;
• редактор методов измерений для каждой автоматизированной процедуры;
• реальный мониторинг процесса измерения;
• автоматический анализ полученных данных измерения.

Система ионизации эффективно снижает действие электростатического заряда. Она ионизирует заряженные объекты, поддерживая идеальное равновесие положительных и отрицательных ионов и не загрязняя окружающую среду. Данная система также снижает риск случайного возникновения электростатического заряда в результате переноски образца.