Атомно-силовой микроскоп для измерения слайдеров жестких дисков NX-PTR/ХЕ-PTR

Полностью автоматический АСМ для точной метрологии  ползунков для жестких дисков прямо на производстве.

АСМ компании Park Systems серии PTR представляют собой полностью автоматические промышленные конвейерные АСМ для, и не только, автоматизированных измерений впадины полюсного наконечника в заготовке, индивидуальной головке-слайдере, слайдерах HGA. Обладая высочайшей точностью и воспроизводимостью, а также высокой производительностью, PTR серия представляет собой метрологические инструменты для производителей слайдеров (головок), позволяющий повысить выпуск изделий.

Автоматизация для быстрых, точных и повторяющихся PTR измерений

Индустрия производства слайдеров для жестких дисков требует инструмент, который обеспечит быстрое и отлаженное измерение PTR, сохраняя при этом имеющиеся высокие стандарты точности. Данная индустрия нуждается в таком приборе, как NX-PRT компании Park Systems. Данный АСМ обеспечивает непревзойденную точность измерений PTR в автоматическом режиме, что увеличивает его пропускную способность. Данная особенность делает данный АСМ идеальным выбором для измерений в области жестких дисков, чтобы улучшить их качество и производство.

Высокая пропускная способность без необходимости в контрольных измерениях

Большинству АСМ требуется сначала получить несколько сканов, чтобы производить PTR измерения: первый – опорный скан макромасштаба, затем – несколько высококачественных сканов с более маленькими областями исследования. Данный режим отнимает много времени и уменьшает производительность. Наша система получения сканирования с технологией «Crosstalk Elimination» позволяет получать действительно плоские сканы, избегая метода многошагового сканирования. Кроме того, режим True Non-Contact^TM сохраняет остроту зонда, обеспечивая более продолжительный срок работы и получение высококачественных изображений. Данная технология позволяет NX-PTR получать точные и детальные изображения интересующих областей без необходимости предварительного получения опорного скана.

Автоматическое измерение слайдеров жестких дисков прямо на производстве

Ключом к улучшению сферы производства слайдеров жестких дисков с уменьшенными размерами и высокой сложности стала точность на наноуровне.  NX-PTR обеспечивает точность и автоматическое измерение слайдеров жестких дисков.

Автоматизированные измерения и анализ PTR

Процесс измерения впадин полюсных наконечников полностью автоматизирован с использованием АСМ NX-PTR. Это обеспечивает высокую производительность для измерения слайдеров и заготовок.

Автоматизированное измерение и анализ угла стенки IBE

Полностью автоматизированное измерение и анализ угла стенки IBE.

Автоматизированное измерение и анализ клина на краю

Полностью автоматизированное измерение и анализ клиньев по краям.

Малошумные датчики положения XYZ для повышения точности

В NX-HDM промышленный малошумный Z-детектор  заменяет Z-напряжение, которое используется в качестве топографического сигнала. Кроме того, малошумный сканер XY с обратной связью обладает минимальным шагом сканирования при перемещении вперед и назад – менее 0.15% во всем диапазоне сканирования.

Минимальный температурный сдвиг и гистерезис

Минимальный температурный сдвиг достигнут за счет очень точной механической и электрической конструкции микроскопа. Это снижает нежелательное смещение зонда относительно образца. Стандартное температурное смещение не превышает 100 нм/˚С в латеральной плоскости и 200 нм/˚С в вертикальном направлении.

Автоматический контроль измерений – точность в короткое время

Автоматизированная программа значительно упрощает работу с NX-PTR. Методы измерения поддерживают многозональный анализ поверхности образца с оптимальными настройками кантилевера, скорости сканирования, коэффициента усиления.

Программное обеспечение производит измерение образца в соответствии с заранее определенной процедурой, которая отмечена в файле метода. Удобный интерфейс программы обеспечивает оператора необходимой гибкостью для реализации широкого спектра функций системы.

Park NX-PTR имеет:

• автоматический, полуавтоматический и ручной режимы сканирования;
• редактор методов измерений для каждой автоматизированной процедуры;
• реальный мониторинг процесса измерения;
• автоматический анализ полученных данных измерения.

Автоматическая замена наконечника (зонда)

Система автоматической замены зонда, разработанная компанией Park Systems, позволяет Вам беспрепятственно продолжать процедуры измерения. Она автоматически калибрует положение кантилевера и оптимизирует настройки измерений на основе измерений по опорному образцу. Замена, основанная на магнитных держателях, имеет 99% вероятность успеха, поэтому Вы можете снизить конечные нагрузки при работе с NX-PTR.

Простая, интуитивно понятная настройка лазерного луча

С помощью нашего современного, предварительно настроенного держателя кантилевера лазерный луч имеет требуемую фокусировку. Кроме того, естественный осевой вид сверху, как уникальное решение в индустрии, позволяет быстрее заметить лазерную точку. Поскольку лазерный пучок падает вертикально вниз на кантилевер, можно интуитивно перемещать лазерную точку вдоль осей Х и Y поворотом двух ручек. В результате этого упрощается процедура поиска лазерной точки и ее легче расположить на PSPD с помощью интерфейса настройки луча. Поэтому Вам остается только отрегулировать величину сигнала на запуск режима получения данных.

Лазерный луч всегда сфокусирован на кантилевер.

Соберите свой АСМ, чтобы сделать его еще более эффективным и эффектным

Специальные крепления для образцов

Park Systems подготовила специальные крепления для фиксации особых образцов, заготовок и отдельных слайдеров. Крепление создает безупречный контакт измеряемого образца и АСМ NX-PTR.

Неразрушающее крепление HGA

Крепление HGA можно использовать для жесткой фиксации HGA особой конструкции, оно отличается наилучшей надежностью в промышленности. Неразрушающее крепление позволяет довольно просто загружать и разгружать HGA без повреждений. HGA затем можно разобрать и проверить. Одновременно можно закрепить до 5 образцов HGA  одного типа.

Система ионизации

Система ионизации эффективно снижает действие электростатического заряда. Она ионизирует заряженные объекты, поддерживая идеальное равновесие положительных и отрицательных ионов и не загрязняя окружающую среду. Данная система также снижает риск случайного возникновения электростатического заряда в результате переноски образца.