Атомно-силовой микроскоп для контроля качества образцов диаметром до 300 мм Park NX20 300 мм
- Разработан для контроля качества в лабораториях
- Позволяет полностью исследовать всю поверхность подложки
- Подложки диаметром до 300 мм
- Без необходимости перемещения подложки во время сканирования
- Наилучшее решение для анализа отказов и контроля качества больших образцов в лабораторных условиях и для инженеров на небольших предприятиях
Производитель Park Systems
Особенности
- NX20 300 мм – является первым лабораторным АСМ промышленного класса, имеющий полностью моторизированный диапазон перемещения образца 300 × 300 мм
- Разработанный специально для контроля качества в лабораториях, данный АСМ позволяет полностью исследовать всю поверхность подложки диаметром до 300 мм без необходимости ее перемещения во время сканирования
- Доказанная производительность и автоматизация действий всего одним нажатием исключает необходимость регулировки параметров при сканировании больших образцов и делает процесс анализа настолько простым и эффективным, насколько это возможно
- С помощью простого и удобного программного обеспечения SmartScan пользователи могут выполнять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью по всей большой площади образца
- NX20 300 мм является наилучшим решением для анализа отказов и контроля качества больших образцов в лабораторных условиях и для инженеров на небольших предприятиях
Park NX20 300 мм позволяет производить измерения образцов по заданным пользователем алгоритмам, обеспечивая Вас передовыми возможностями анализа различных структур на наноуровне. Имея возможность измерять шероховатость, высоты и глубину структур, обнаруживать дефекты, исследовать электрические, магнитные, температурные и механические свойства, АСМ является идеальным инструментом для инженеров, проверяющих различные компоненты на отказ и выполняющих контроль качества больших образцов.
Преимущества
Специальный дизайн
NX20 300 мм был специально разработан для контроля качества. Данный АСМ позволяет полностью исследовать всю поверхность подложки диаметром до 300 мм без необходимости ее перемещения во время сканирования – это открывает пользователю новые возможности автоматизации производства, увеличения пропускной способности, упрощения анализа и получения более высокой точности.
Универсальный предметный столик
Данный предметный столик оснащен системой вакуумирования для более надежного крепления образцов и позволяет размещать подложки различного диаметра, формы и типа. |
Кроме того, данный предметный столик позволяет перемещать образцы по всему диапазону до 300 мм без необходимости помещения образца в новое положения для дальнейшего измерения поверхности.
Доказанная производительность
NX20 уже является наилучшим решением для анализа отказов и контроля качества больших образцов в лабораторных условиях и для инженеров на небольших предприятиях без потери качества и разрешения. Использование универсального предметного столика для образцов диаметром до 300 мм позволяет еще больше увеличить производительность, сохраняя высочайшую точность.
Программное обеспечение
Park SmartScan делает точные измерения простыми
Данный атомно-силовой микроскоп оснащен специальным программным обеспечением SmartScanTM, которое делает управление микроскопом самым простым среди всех подобных аналогов. Имея очень простой и интуитивный, но в тоже время очень мощный интерфейс, данное ПО позволяет даже неопытному пользователю очень быстро сканировать большие образцы без подготовки и наблюдателей. Это позволяет ведущим инженерам сфокусироваться на более сложных задачах и на разработке новых решений.
Сканирует несколько областей на одном образце
Также SmartScan позволяет пользователям проводить последовательные автоматические измерения различных областей образца, сравнивать их морфологию, высоту и шероховатость, используя две методологии: grid (сетка) и wafer (подложка) (см. ниже: «а» и «б» соответственно). Данная особенность позволяет значительно увеличить производительность и удобство работы оператора при анализе больших образцов.
Увеличение производительности
Простая процедура создания пользовательских скриптов позволяет Вам выбирать предустановленные алгоритмы по положению, названию, количеству и типу сканирования каждого образца.
Технические характеристики
Сканирование | |
Диапазон перемещений XY сканера | 300 × 300 мм |
Область сканирования в плоскости XY | 100 × 100 мкм |
Диапазон перемещений Z сканера | 25 мм |
Область сканирования вдоль оси Z | 15 мкм (30 мкм – опция) |
Контролирующая электроника | |
АЦП | 18 каналов, 4 высокоскоростных АЦП канала (50 MSPS) 24-битный сенсор для позиционирования по X, Y, Z |
ЦАП | 12 каналов, 2 высокоскоростных ЦАП канала (50 MSPS) 20-битный сенсор для позиционирования по X, Y, Z 3 канала для встроенного усилителя |
Предметный столик | |
Тип | С магнитным и вакуумным механизмом крепления |
Оптимизирован для образцов | 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм |
Система видеонаблюдения | |
Диапазон перемещений | 8 мм вдоль оси Z |
Детектор | ПЗС-камера |
Разрешение | До 5 Мп |
Объектив | 10Х (20Х – опция) |
Поле зрения | 840 × 630 мкм (420 × 315 мкм с объективом 20Х) |
Программное обеспечение | Полный пакет для сбора и обработки данных |
Габаритные размеры | 1220 × 1170 × 1470 мм |