Цифровой регулятор массового расхода

Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности Серия LC-3000L

  • Диапазон регулирования расхода: 5 ～ 100 % (полная шкала)
  • Рабочий режим клапана: нормально открытый
  • Точность:   ±1.0%
  • Рабочее дифференциальное давление: 50 ～ 300 кПа

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Описание

Высокоэффективный цифровой регулятор массового расхода с пьезоэлектрическим приводом, встроенным в датчик массового расхода для жидких сред.

Особенности

  • Работает в качестве регулятора массового расхода жидкости при установке пьезоэлектрического привода
  • Цифровой интерфейс RS-485
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
  • Высокоскоростной и высокоэффективный пьезоэлектрический привод
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения жидкостных расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Химическое парофазное осаждение

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Химическое парофазное осаждение
  • Очистка и сушка пластин

3. Автомобилестроение

  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель LC-3102L LC-3202L
Расход Коверсия С2Н5ОН 0.1 ～ 1.0 г/мин 0.1 ～ 2.0 г/мин
Конверсия Н2О 0.1 ～ 0.2 г/мин 0.2 ～ 0.4 г/мин
Диапазон регулирования расхода 5 ～ 100 % (полная шкала)
Рабочий режим клапана Нормально открытый
Точность   ±1.0%
Линейность   ±0.5 %
Воспроизводимость ±0.5% F.S.
Время отклика 3 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0.25 ～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300 кПа
Давление выдерживания 1МПа(G)
Рабочая температура 15 ～ 35 °С 0 ～ 80% относительная влажность 20 ～ 30℃, 0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He
Смачиваемые материалы SUS316L, ПТФХЭ SUS316L, ПФА, Ni-Co
Материал уплотнения Au
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3%   50 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс Модульный разъем RJ45/RS-485
Привод регулирующего клапана Пьезоэлектрический привод
Вес 1.0 кг
В каталог