Определение характеристик I-V тонкопленочных транзисторов на основе графена
Одной из ключевых проблем при определении электрических характеристик тонкопленочных транзисторов (TFT) является посадка зондов на тонкие электроды без проникновения в них, так как это приводит к неправильному определению характеристик и повреждению устройства.
В данной статье сообщается об успешном использовании микроманипуляторов miBot для решения этой проблемы. Тестируемое устройство представляет собой TFT с графеновым каналом. Исток и сток состоят из проводящих электродов толщиной 100 нм. Канал, исток и сток смонтированы на гибком изоляционном материале толщиной 100 нм, нанесенном на электропроводящую подложку, действующую как диэлектрик затвора и электрод соответственно.
Время проведения этого эксперимента также было значительно сокращено благодаря практически неограниченному диапазону перемещения микроманипуляторов miBot по сравнению с традиционными ручными зондами.
Выполнено в сотрудничестве с Microsystems Laboratory, EPFL, Lausanne, Switzerland (http://lmis1.epfl.ch)
Продукты, используемые для данной задачи:
- miBot BT-11-Р
- miBase BS-42-P
- syDrive SD-10
- Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
- 4 степени свободы - X, Y, R, Z
- Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
- Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
- Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
- Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование