Нанесение и измерение in-situ подтягивающего резистора 1 кОм при угловом наклоне FIB

При разработке новой интегральной схемы (ИС) дефекты могут возникнуть уже после первых испытаний. Правка схемы - это мощный метод, который позволяет быстро модифицировать ИС и отлаживать ее без необходимости подготовки новых масок. Среди этих модификаций осаждение прецизионного резистора между двумя узлами схемы является обычной практикой.

В данном варианте применения описывается измерение in-situ величины сопротивления резистора, когда его создают с помощью нанесения платины, индуцированного FIB. Одновременное нанесение и измерение резистора проводили под углом наклона столика 54 °.

Когда столик был установлен под правильным углом наклона, два нанозонда были подключены к обоим выводам резистора, на котором проводили осаждение. Сопротивление отслеживали во время осаждения и использовали в качестве конечной точки, когда было достигнуто желаемое значение.

miBot™ является идеальным измерительным инструментом для редактирования схем благодаря точной посадке зондов и поддержанию устойчивых электрических контактов в течение длительного времени при наклоне предметного столика электронного микроскопа.

Место проведения эксперимента: Fraunhofer CAM, Halle, Germany 

Подробная информация:

• W. Courbat and J. Jatzkowski,“Faster and More Accurate Failure Analysis: Circuit Editing and Short Localization Performed at Same FEB Tilt Angle using Multiple Techniques”, Electronic Device Failure Analysis, 21(4), p. 22-28, 2019.
• Узнайте, как можно использовать нанозондирование in-situ для обнаружения и локализации дефектов в полупроводниках (методы EBIC / EBAC).